光电工程师社区

标题: 膜层花斑问题 求助 [打印本页]

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作者: xiaolan125    时间: 2011-8-11 13:49
标题: 膜层花斑问题 求助


最近镀SF2棱镜 斜面PBS膜时发现表面出现点状的斑点，用的是TA2O5和SIO2 电子枪蒸发，加大恒温时间（90min）和刻蚀时间均无明显改善 ，而且尺寸越大的花斑越多，小尺寸的较少出现，一直无法解决，有哪位大侠可以指点下

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作者: xiazg    时间: 2011-8-11 15:09
晶振片 膜料 销售电话 15068338773  夏志国  QQ1046118891

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作者: jiayuch    时间: 2011-8-15 08:12
用新鲜基片镀制看看，就是刚抛光完的那种

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作者: Jimmy_tang    时间: 2011-8-17 10:10
LZ用的是什么坩埚啊？

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作者: xiaolan125    时间: 2011-8-17 15:40

Jimmy_tang 发表于 2011-8-17 10:10
LZ用的是什么坩埚啊？

无氧铜坩埚

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作者: Jimmy_tang    时间: 2011-8-17 16:10
是因为洁净度不足么？不太懂。我记得曾在某篇文献中有看到的，但当时在找别的内容，所以略过了，刚才找了半天没找到。

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作者: xiao2011    时间: 2011-8-17 16:22

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作者: 496316388    时间: 2011-8-18 12:11

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作者: xiaozhou    时间: 2011-8-22 18:58
基底有亚克，镀膜前可先擦拭亚克粉试试

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作者: xiaolan125    时间: 2011-8-24 08:43

xiaozhou 发表于 2011-8-22 18:58
基底有亚克，镀膜前可先擦拭亚克粉试试

亚克？ 是什么

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