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标题: ITO膜有白雾 [打印本页]

作者: shuangzixing    时间: 2011-8-19 15:00
标题: ITO膜有白雾
我们使用电子枪镀ITO。电阻值可以控制好但现在发现有时候基片上会有白雾状,用布擦拭后更加明显。但有时镀出来非常好。用离子源。请高手解答谢谢
作者: ghtzna    时间: 2011-8-19 16:17
速率用多少  还有是不是清洗的问题  把你的制程show 出来
ITO 外观是个难题啊 你的雾是不是没有规则的
作者: ghtzna    时间: 2011-8-19 16:17
最好上图
作者: shuangzixing    时间: 2011-8-20 09:54
不是每炉有雾状。基片我们都是用手工擦洗的应该没问题。而且我每次都做好详细的镀膜经过和没有白雾状镀膜条件相同的。白雾状是整片都有。如果擦拭的话基片上很明显的。特别是在灯光下观察擦拭后有布纹一擦更加明显。
作者: Jimmy_tang    时间: 2011-8-22 13:22
看了半天,没看懂。
你是不是说:
镀膜后有雾和镀膜后没有雾状的,镀膜条件都完全相同。
镀膜后有雾状的基片,会整片都有雾状花纹,特别是如果擦拭后在灯光下观察,雾状花纹会更明显?
作者: ghtzna    时间: 2011-8-22 14:35
这是很正常的状态 偶尔有 偶尔没有  你的基板能保证都是相同的么  
作者: shuangzixing    时间: 2011-8-23 13:04
5楼:我已经说的很明白了。试镀膜后发现基片有白雾状。不是每一炉都有。镀膜条件控制基本相同
作者: shuangzixing    时间: 2011-8-23 13:05
打错一个字应该是(试)
作者: Jimmy_tang    时间: 2011-8-24 14:05
抱歉,我说的是你在4楼的话没有标点符号读起来有些吃力。
我认为问题应该是出在基片上的,你镀膜时,不同锅的基片是同一批次的吗?或者说,是同一毛坯,同一盘上下下来的?
作者: 宇宙深处    时间: 2011-8-24 14:10

作者: shuangzixing    时间: 2011-8-25 12:15
基片是要货公司提供的。所以不知道是否同一批次,万一是不同一批次但我想不会是一炉全是白雾吧。一炉里只要有一块有白雾那就全军覆灭了。所以我不认为是基片问题。主要还是出现在镀膜上,工艺要点还没掌握好才导致有时候会一炉好还是一炉不好的情况。
作者: xiazg    时间: 2011-8-26 09:24
嘉兴晶控电子有限公司(JJK)成立于2004年初,公司位于浙江省嘉兴市余新镇工业园区。是一家集研发、生产、销售石英晶振片和石英晶体微天平的科技型企业。
公司于2004年开始生产石英晶振片基片,并于2005年下半年大量供应美国市场,成为国内最大的石英晶振片基片生产商。经历4年技术和经验的沉淀之后,2008年JJK决心自创品牌,从美国引进先进的镀膜设备和检测设备,以一流的技术、一流的团队,凭借一流的基片,精心打造国内晶振片第一品牌。

为满足国内市场各种型号、规格晶控仪对晶振片的差异化需求,JJK精心设计和制造了多种不同规格的晶振片(5/6MHZ金、银、合金3种电极),并全面开拓国内市场。JJK晶振片不仅品种规格齐全,更重要的是,JJK晶振片品质性能的稳定性和可靠性与进口晶振片已无差距,可重复使用次数也达到了进口晶振片的水平。至2010年底,我们的客户达到400多家,产品广泛应用于光学镀膜、半导体(LED)行业,医疗、军事、航天等研究机构,远销美国、新加坡、德国、日本等海外市场,并受到业界的一致认可。现公司还有一些镀膜材料和晶振探头等产品。
联系人:夏志国  15068338773  QQ1046118891





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