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标题: 美国TELEMARK公司电子枪、低温冷阱、光学膜厚测量仪等 [打印本页]

作者: liudongdong    时间: 2004-6-16 01:08
标题: 美国TELEMARK公司电子枪、低温冷阱、光学膜厚测量仪等

产品有:

1、电子枪及电源。 特点是:电子束能量集中,束斑尺寸小,专利水冷技术保证了坩埚的长寿命,专有的扫描模式保证膜材蒸发更均匀,使用率更高,专利电弧抑制技术减少打火发生,独特的结构设计减少不同坩埚内材料的相互污染,并易于清洗。

2、水蒸气超低温冷阱。 用于水蒸气的快速抽除,降温迅速,快速结霜,对水蒸气有强大的抽气能力,使设备抽气时间缩短25%-90%,提高设备极限真空,提高膜层质量,占地面积小,无需液氮,降低运行费用。

3、光学等离子体诊断监控仪。 利用每种物质特有的光谱属性对等离子进行化学诊断。可以对等离子体进行监测和控制,光谱范围:200--1000nm。主要用于:等离子体刻蚀终了诊断,反应溅射镀膜控制,工艺模拟与优化,过程气体纯度控制和检漏,通用等离子体诊断等。

4、光学膜厚控制仪。 利用对基片的透射和反射进行全光谱(范围200-900nm)分析,可对膜厚进行测量和控制。还可用于等离子体诊断。

5、880型沉积速率控制仪。 对真空镀膜的工艺过程进行编辑、监测和控制。基于多微处理设计,具有更快的测量更新率,更高的分辨率;可同时支持8路传感器输入和8路模拟输出;具有更优良的综合性能;前面板有四个可定义快捷键。

公司网址:www.leyfond.com

联系方式:0755-26066939 刘小姐、简先生


作者: liudongdong    时间: 2004-6-24 23:46

没人顶一下?


作者: liudongdong    时间: 2004-7-1 18:10
我公司将在今年9月6号至9号深圳高交会馆的第六届中国国际光电博览会B3馆10、11号展位参展,请朋友们有机会都来看看。
作者: liudongdong    时间: 2004-8-30 20:39

邀请函

尊敬的女士们先生们:

你们好!

我公司将于200496日至99在中国深圳市高新技术成果交易展览中心举办的第六届中国国际光电子博览会上参展,展位号为B310号至11,展出产品有:德国PFEIFFER的分子泵、真空计;MAXTEK膜厚测量仪;TELEMARK的电子枪等。希望您能光临,欢迎提出宝贵意见,谢谢!

利方达真空技术深圳分公司

2004-8-30






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