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标题: [讨论]如何镀2nm的薄膜？ [打印本页]

作者: vietti 时间: 2004-6-23 17:29
标题: [讨论]如何镀2nm的薄膜？

请教

镀2个nm厚的膜，该怎么控制呢？

蒸发速率多大合适？预熔时是否都会形成2nm的膜？

2个nm的厚度，用什么手段可以检测的出来吗？

作者: zz 时间: 2004-6-23 18:05
那看是啥膜料了？

作者: vietti 时间: 2004-6-24 00:14

比如Al2O3

作者: zz 时间: 2004-6-24 06:02

例如采用0.2NM的速率,可镀10S,可能采用溅射设备好控.没啥好测的,单层太薄,除非你有特殊用途

作者: Jesus 时间: 2004-6-25 19:25

20A厚度的薄膜太薄了吧?

你肯定这个厚度已经成膜了?而不是岛状的结构?

作者: likeoe 时间: 2004-6-25 23:22
老兄，什么用途啊，做2nm，用电子枪就免了，一眨眼可能就不只2nm了，用离子溅射或磁控溅射有可能的。

作者: zz 时间: 2004-6-26 00:45
岛状结构难道就不是薄膜了吗?

作者: Jesus 时间: 2004-6-26 17:16

岛状结构的薄膜不能实现薄膜的设计光学特性,所以我想已经失去了其设计的功能.

作者: zz 时间: 2004-6-26 19:20
是吗？？？？？

作者: vietti 时间: 2004-6-28 17:54

用途嘛，主要是保护作用，并非光学作用

作者: Jesus 时间: 2004-6-28 18:01

哦,保护作用,那为什么不镀的稍微厚一点点呢?总觉得20A的厚度实在太薄.

作者: zz 时间: 2004-6-28 19:31

楼主，你是否又想保护，又想不影响光学性能呢？可你的设计有问题，2nm的保护膜没啥用的。

作者: yh15430 时间: 2004-6-29 05:35
光学薄膜制作的工艺实践性非常强，想当然往往误事。

作者: kuan 时间: 2004-8-3 16:22

用石英膜厚計試試吧!

可先把預鍍量算出來, 速率慢或許能達到

如果鍍後一點不影響分光的話

可能會比較好做

作者: 新手上路001 时间: 2004-8-5 01:28
标题: 回复
既然是起保护作用，就用60年代产的中罩机了，再找一个老师傅（国内这样的人很多的）

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