光电工程师社区

标题: 离子源，大家来讨论 [打印本页]

作者: coatingli 时间: 2004-7-2 22:39
标题: 离子源，大家来讨论

是霍尔源好用，还是考夫曼源好用？

莱宝的APS源是不是属于霍尔源呢？

您认为国产的离子源哪一家做的最好，是属于哪种源！

作者: ic5 时间: 2004-7-3 01:07

我认为还是RF源最好用,干净、稳定！

作者: coatingli 时间: 2004-7-3 01:18

RF源是不是只有日本SHINCRON和OPTORUN在用，RF 对人体有害。

日本昭和是把RF源加在基片架上，这样比较麻烦的是离子分布不均匀。

作者: ic5 时间: 2004-7-3 06:20
veeco用的也是RF源啊,而且是2个RF源.对于RF源对人体的危害,因为现在的设备都有很好的屏蔽,我想这个伤害应该可以不考虑了!

作者: zz 时间: 2004-7-3 17:16

HALL和KOFMAN难道不干净，不稳定吗？说来听听。除小日本的设备还有人将RF源用于IAD吗？

作者: ic5 时间: 2004-7-3 17:34

还有一种"电弧弯曲过滤"技术,不知道现在有没有应用到薄膜沉积上?

作者: zz 时间: 2004-7-3 17:39
班组真是见多识广啊。不知”电滤“技术成熟不，有啥优势呢？

作者: ic5 时间: 2004-7-4 16:27

“电滤技术”我也是听说啊，也不了解，还请那位大师给普及一下！

作者: zz 时间: 2004-7-12 21:23

帮主，有人灌水

作者: ic5 时间: 2004-7-12 21:45

TO：ZZ

谢谢您的监督，我已将灌水的帖子删除。

作者: 阿俊 时间: 2004-7-13 02:57

RF确实是个好东西，不今只是上面的好，且最主要的是经济。部品消耗少。

作者: chz321 时间: 2004-7-15 07:12
RF源会不会容易打火,清洗会不会方便,请问哪里能找的到关于RF源的资料,

作者: ic5 时间: 2004-7-15 22:06
RF源的打火很少出现，只有在栅网较脏或变形后会出现。对于其清洗问题，要注意，主要是避免栅网的变形，其他的没有什么！

作者: chz321 时间: 2004-7-16 04:23

RF源是属于考夫曼离子源,请问哪里能找的到关于RF源的资料,谢谢,

作者: nanovac1 时间: 2004-10-17 05:28

上海纳微真空公司销售俄罗斯RF离子源（Kaufman型），Hall离子源，阳极层离子源，价格优惠。

我们还销售德国最新ICP离子源（也是RF离子源内），面积可达1平方米以上。特别适用于高等级光学镀膜。

纳微真空，中国市场价格，世界水平产品！

上海纳微真空技术有限公司

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作者: nanovac1 时间: 2004-10-21 19:49

Kaufman离子源和RF离子源都是栅格式，即由两层或三层栅格抽取离子形成离子束。其共同特点是离子流密度和离子能级可以独立调节，离子能量带宽集中，这类离子源一般用于光学镀膜中。Kaufman离子源的等离子体由其腔体内的阴极产生，而阴极是损耗件。RF离子源的等离子体有RF耦合而成，无损耗件。栅格式离子源的一大缺点是离子束流量有一个极限值。

霍尔（其实应叫终端霍尔）离子源不用栅格。但需要加一个中和源（一般是钨丝）。其离子能量带宽较分散，但粒子流两正比于器体流量。与霍尔离子源同类的还有一种阳极层离子源，一般多用于大型工件镀膜。

RF离子源不仅仅日本能造，美国，德国，前苏联都能造。

我们上海纳微真空技术公司销售以上所有离子源。

作者: nanovac1 时间: 2004-10-21 19:53

楼上的朋友若需要离子源信息资料，请联系我们：

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我知道很多国内外离子源技术，发展趋势和市场情况，希望我们能合作，使离子源技术在我国能得到发扬光大。

作者: hym 时间: 2012-12-15 20:24

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