光电工程师社区

标题: 什么镀晶体时,在同一炉里面放了两片都是一片光洁度很好,一片光洁度很差了, [打印本页]

作者: chz321    时间: 2004-7-12 04:56
标题: 什么镀晶体时,在同一炉里面放了两片都是一片光洁度很好,一片光洁度很差了,

为什么镀晶体时,在同一炉里面放了两片都是一片光洁度很好,一片光洁度很差了,做了好久了都是这样,


作者: chz321    时间: 2004-7-12 05:02
标题打错了,SORRY,
作者: zz    时间: 2004-7-12 17:14

同种材料吗?不同位置是吧?这问题有点烦。能说具体点吗?


作者: xvchuan    时间: 2004-7-12 18:14

会不会是其中一片附近有脏东西导致容易打火?


作者: chz321    时间: 2004-7-13 05:39

是同种材料,镀了十炉左右了,都是一片很好,一片很差,

可我每次放的位置都不会一样呀,按理说在锅上是不会打火的吧,用的是下烘烤,

大家有见过这种情况吗,


作者: zz    时间: 2004-7-13 16:14
其他材料也会吗?试试看
作者: chugqchugq    时间: 2004-7-15 23:18
抽真空的影响
作者: chz321    时间: 2004-7-16 04:41
我们的真空度都在1.5X10-3PA,难道说在抽真空过程中会有占子飞上去吗,可是每次都是一片可以,一片不行呀,
作者: gbodli    时间: 2004-7-18 17:41
有可能下烘烤电极接触不良而导致打火,请检查一电级想想片子在工件盘上旋转时。有一片刚好旋转到那里刚好打火。而另一片还没旋转到下烘烤的上方
作者: eagle1    时间: 2004-7-18 22:02

楼上说的有道理。工艺又时间就是这样,查处原因后很简单,但没有查出很苦恼。


作者: ababab    时间: 2004-7-19 04:14
如果你在同一炉里要是还放了光学玻璃的话,那你光学玻璃的光洁度是OK的但可能你的晶体可能光洁度会一片都没有好的,这就是他们的差别了。
作者: zsfljl    时间: 2004-7-19 14:23
模具有没有问题
作者: chz321    时间: 2004-7-20 04:43

多谢各位,最近做了些实验,终于解决问题了,

可是又出现了点子,一般一片面上就出现一两个点子,唉,真是一波还末平息,一波又来侵袭.


作者: chugqchugq    时间: 2004-7-21 23:12
什么原因?




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