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标题: zernike系数 [打印本页]

作者: chenlu 时间: 2004-7-23 05:51
标题: zernike系数

大家知道，zernike系数在光学评价中有很大的作用，大侠们对zernike系数有何看法请回话。或者那位大侠能对zernike系数有明确的说明啊？或者上传一点资料也好啊

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作者: chenlu 时间: 2004-7-25 06:58

没有人响应呀？？？？？？

作者: gamehome 时间: 2004-7-27 17:55

<P>不知行不行</P>[attach]2793[/attach]

作者: stevenwu 时间: 2004-7-30 18:17

一般不用于像质评价上，主要用于光学测试中。可以参考干涉测试方面的资料

作者: chenlu 时间: 2004-8-2 06:03

谢谢大哥

作者: steven78 时间: 2004-8-21 01:21

zernike系数是表征光学系统波形差的像质参数，一般的光学仪器检测中是没必要的，只需要校正常用的几何像差就可以了。但是在高精度光学投影物镜中（比如光刻机的投影物镜）像质校正是需要用的到的。

zernike系数的计算以及物理意义可以在波恩的《光学原理》中看到。zernike 系数是在光瞳面上对波面进行zernike多项式的拟合，拟合的系数就是zernike系数，不同阶数的zernike系数代表不同的像差

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