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标题: [讨论]关于Tio2材料喷料的原因 [打印本页]

作者: 长发飘飘小帅 时间: 2004-7-24 20:38
标题: [讨论]关于Tio2材料喷料的原因

最近Tio2常常镀膜时出现喷料!!! 就是镀好了一层膜整个材料讯速鼓起!!!又要预熔!有时这产品光洁度有了影响!!! 三台机器!(韩一)有二台经常喷料!另一台不喷!(同一台南光机预熔出来) 到底是预熔时有问题还是什么的???(是预熔时真空度???是材料本身???还是冷却水?) 请各位前辈讨论讨论!怎么样才能预防?谢谢!

作者: optorun 时间: 2004-7-25 06:50

先用大范围的scan,ycan预熔，然后逐渐减小，镀膜的时候采用扫描最小值镀膜．试试看，不行再找我．

作者: 长发飘飘小帅 时间: 2004-7-26 04:23
预熔:扫描4.5*4.5 再3.5*3.5 然后2.5*2.5 到0*0 束流360 镀膜光标X:0,Y:0就是这样的!

作者: snebur 时间: 2005-2-2 03:38
料性不同也会导致鼓起来！颗粒度大小相差太大突然间受热，会导致溅料！熔融由小电流开始逐渐增大会好些！

作者: zz 时间: 2005-2-2 19:46
当SCAN缩小,束六也应相应减少.

作者: kuan 时间: 2005-2-3 22:36

材料鼓起的原因是因你底層材料預融不完全所造成

建議將材料鼓起部分敲碎再融過

否則會將一顆不定時炸彈隨時會炸開

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