光电工程师社区

标题: 求助：真空镀膜机蒸发铝 [打印本页]

作者: hngyc 时间: 2004-7-30 17:27
标题: 求助：真空镀膜机蒸发铝

前天，我用真空镀膜机蒸发纯铝，蒸发方式：电子枪，坩埚材料是无氧铜，结果坩埚的部分被融化，我不知道是冷却不好，还是温度过高导致的，还是本身就不能用无氧铜坩埚，如何解决？

请高手帮忙！！！

作者: zz 时间: 2004-7-30 20:58
不能用，改为热蒸发吧。

作者: yh15430 时间: 2004-7-30 21:58
标题: 回复：（zz）不能用，改为热蒸发吧。
zz说的对，用热蒸发最可靠，何必事事都用电子枪，镀金属膜最好用热蒸发。否则容易出问题!

作者: hngyc 时间: 2004-7-30 22:45

什么是热蒸发？

作者: chz321 时间: 2004-7-31 05:12
对呀我以前镀金属膜是都是用热蒸发，从没用过电子枪，

作者: fengjg 时间: 2004-8-2 23:37
用钼片放在坩埚里,铝放在钼片内,先预熔,在蒸发

作者: hzkd 时间: 2004-8-4 21:15
用钨丝

作者: zz 时间: 2004-8-4 23:48

请问Fengjg：

钼片是压模成型的还是随意放入。

作者: 新手上路001 时间: 2004-8-5 01:15
标题: 回复
做一个蒸发钼舟就即可

作者: zz 时间: 2004-8-6 06:33
做一个,堂和容易

作者: bjlcl 时间: 2004-8-6 21:13
我们用的镀铝方式就是将铝快放到钨丝上，通电将铝蒸发，电流大概在800A左右

作者: 我来了 时间: 2004-8-6 23:27
我们用铝线

作者: lavajydm 时间: 2004-8-24 04:51

那种工艺不稳定哦！！

作者: shxjgxyqyxgs 时间: 2004-8-24 18:01

那是铜与铝相湿

作者: lh040805 时间: 2004-8-24 19:29
钼舟好做，但好象不在镀铝时用啊

作者: sswh 时间: 2004-8-25 05:03
钼舟很好做的吧，手工~

作者: Jesus 时间: 2004-8-25 20:05

电子束蒸发铝也可以做到的。顶楼的朋友，你的紫铜坩埚的融化，我想确实和坩埚的散热不好有关。你可以降低下水冷温度或检查下枪水冷是否有阻塞，再试试看。

另外，也可考虑加工石墨坩埚，融点高，导热好。

仅建议而已，你试下子。

作者: ippsong 时间: 2004-8-27 00:52

鉬舟是有得賣的 , 不用訂作 , 我們鍍鋁用的就是鉬舟 .

使用壽命會比鎢舟好很多 , 因為鍍鋁蒸鍍時

需要瞬間上升的大電流 , 鎢舟不耐用 , 而用

鎢絲條的話 , 就要看設備的能耐了 , 阻抗越大的

時候 , 電流上升就慢些 , 鍍出來的規格就差些 .

反射率就差強人意 .....

作者: ippsong 时间: 2004-8-27 18:19

另外 , 用電子束蒸鍍鋁 , 或其他金屬膜也是很好的選擇 .

總之 , 還是要看貴司的設備及鍍膜規格了 .

作者: hzg168 时间: 2004-9-5 01:18

镀金属膜一般都用热蒸镀

大可不必用电子枪

作者: showashinku 时间: 2004-9-6 23:45

使用电阻蒸发

铝熔点低，电子枪蒸发容易伤到坩埚

作者: yakochen 时间: 2004-9-9 20:13
电子束温度太高，用热蒸发。上面几种方法都可以，不必精确控制膜的厚度，工艺稳定性基本没问题。

作者: deveitu 时间: 2004-9-9 22:26
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作者: vacuum 时间: 2004-9-21 18:29

會不會你的電子槍打歪了呀

作者: zxp163a 时间: 2004-9-23 06:13
钼不适宜用来蒸发铝，最好的办法是用钨丝作热源蒸发，效果最好。

作者: bsrf 时间: 2004-9-23 07:13

难道用磁控溅射不好吗？

作者: zz 时间: 2004-9-23 17:57
好，简直太好了

作者: xiaohe 时间: 2004-9-23 23:05
真是学问大长呀我.

作者: 阿俊 时间: 2004-10-18 16:51

镀铝最好是用钨舟比较实惠，也比较实际

金属膜尽量使用阻抗蒸发，电子束打出的电子会影响膜的附着

作者: guangang 时间: 2004-10-18 17:53
鍍鋁還是用電子槍好一些，膜層強度要比熱蒸發好一些，但最好使用和金屬不相浸的坩堝，導熱型差一些的好，否則熱量很容易散發掉，要用很大的電子槍功率才能達到不很高的蒸發速率。至於2次電子，鍍什麼膜的時候都會產生，這麼說不是什麼膜都不能鍍了麼？那還要電子槍做什麼？

作者: LQF 时间: 2004-11-1 07:20
如不稳定你来找我。

作者: showashinku 时间: 2004-11-2 00:20

钨钼蒸发舟都可以

作者: tangjindao 时间: 2004-11-5 00:24
用紫铜的坩锅镀什么问题都没有，

作者: wuming791025 时间: 2004-11-7 04:35
呵呵，我门用E-GUN的时候，直接在坩埚座上融铝，再蒸镀，不用坩埚

作者: 67866110 时间: 2005-4-7 02:24
镀铝用电子枪是不行的,最好的向楼上几位所说的用钨丝,我们镀铝都是用钨丝,当然也可以用钨周

作者: fishdesky 时间: 2005-4-7 04:17

就是啊

大家都用钨丝蒸铝啊

多方便啊

作者: eagle1 时间: 2005-5-8 05:28
我试过钨舟和钼舟，好像钨舟更好用一点。但总是不能镀完所需要的比如200NM，然后烧掉保险丝，痛苦不已。
请各位指点高招。

作者: zz 时间: 2005-5-8 16:31
200也太多了吧,少镀点....................

作者: yaoxilin1003 时间: 2005-5-9 02:14
这个问题我以前也碰到过（也是采用的电子枪蒸发）。事实上，铝能和很多常见的坩锅材料起反应。建议采用钨坩锅（比较贵）。

作者: 流光 时间: 2005-5-10 16:18
TO：yaoxilin1003
我也用过用钨坩锅蒸镀铝膜，但测试出来铝的反射率有点问题，你测出反射率是多少

作者: zz 时间: 2005-5-10 22:00
差不多啊.
是否你测试有问题.

作者: morke 时间: 2007-9-21 19:23
标题: 高导热、长寿命、节能型氮化铝坩埚（蒸发舟）
高导热、长寿命、节能型氮化铝坩埚（蒸发舟）
关键字：陶瓷蒸发舟,氮化铝蒸发舟,真空镀铝陶瓷蒸发舟，镀铝蒸发舟
一、氮化铝陶瓷材料性能特点：
1、  耐高温：AlN属类金刚石氮化物，最高可稳定到2200℃。
2、耐腐蚀性能：抗熔融金属侵蚀的能力强，是熔铸纯铁、铝或铝合金理想的坩埚材料。
3、高热导率：氮化铝基片的热导率为氧化铝基板的10倍，具有优良的导热性（导热率为180-220 W/mK）、热膨胀系数与硅半导体元件相匹配、绝缘性能。
   4、良好的机械性能：不低于甚至超过氧化铝陶瓷。
   5、良好的润舟性能：蒸发过程中极少出现金属溅射问题，保证了金属膜各方面的稳定性，可以使蒸发舟的润舟性能大大提高。
6、特别是在镀铝行业应用中，我们的超长使用寿命的特点非常明显。

氮化铝陶瓷坩埚：氮化铝可用于作真空蒸发和熔炼金属的容器，特别适于作真空蒸发铝的坩埚，因为氮化铝在真空中加热蒸汽压低，即使分解，也不会污染铝。本公司可根据用户要求生产各种规格的氮化铝基陶瓷容器。现有规格有外径为10mm 高 10mm 壁厚 0.8-1mm。
二、主要应用于：

1、铝蒸发坩埚----镀铝蒸发舟
• 食品包装行业镀铝
• 电容器行业镀铝-----薄膜电容器镀铝
• 电子显示器----彩色显象管镀铝
• 各类电子产品金属蒸发----集成电路镀铝
2、OLED专用蒸发舟
OLED专用蒸发舟是易耗品，直接从国外进口费用昂贵，极大地增加了生产和研制产品的成本，现我公司为方便广大客户，特别隆重推出OLED专用蒸发舟
依据用户需要设计、加工定做各种镀膜用OLED专用蒸发舟，更优的价格，更好的质量。如果用户需求量大，可以先发样品测试性能，满意后再订货。几种OLED专用蒸发舟结构示意图如下：
电话：0551-5825620  13083080412 传真：0551-3647724    Email: luckyboywxb@yahoo.com .cn

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作者: shuangzixing 时间: 2007-9-23 20:08
直接用钨丝可以镀铝.这个方法最简单了

作者: shuangzixing 时间: 2007-9-23 20:09
用钨丝是最好的镀膜方法.

作者: chxx1123 时间: 2007-9-24 14:01
我们公司就是用钨丝镀铝的,挺好的

作者: guhua530 时间: 2007-9-24 17:21
钼舟或钨丝都可以用``````

作者: huangdengpin 时间: 2007-9-26 08:23
本身就不能用无氧铜坩埚，用石墨坩埚.

作者: hj_lml 时间: 2007-9-30 09:32
就钨丝吧,简单,便宜,适用,性价比很高的哦

作者: diaodiao315 时间: 2013-2-17 14:45
不是有中频感应蒸发源吗？不过也是石墨坩埚

作者: chongying 时间: 2013-8-3 10:31
大家好，我是做镀膜材料的新人，主要做镀铝件铝层保护膜产品，也就是所谓的硅油。希望有兴趣的朋友一起交流：QQ1030407206，电话18817532994小吴，谢谢。相比较PU光油，硅油可以耐更高温度，硅油是清澈透明液体，溅镀在铝层表面比PU光油更均匀，膜厚更薄，真空镀膜后的产品刮痕明显比PU更轻。硅油：一种塑料镀铝件如车灯反光杯，在镀膜机真空镀铝后加镀一层超硬保护膜的一种辅助材料，用以保护脆弱的铝层，提高镀膜产品的耐酸碱盐性能。

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