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标题: [求助]国内能做sputtering的厂家有哪些啊！！！ [打印本页]

作者: coldfog 时间: 2004-8-3 05:31
标题: [求助]国内能做sputtering的厂家有哪些啊！！！
国内有没有做sputtering的厂家啊。

[此贴子已经被作者于2004-8-3 8:44:10编辑过]

作者: 烟袋 时间: 2004-8-9 08:59

请问是做哪方面的呢?

我的QQ:28073925

作者: flyinlove79111 时间: 2004-8-14 04:11
具体指标呢？

作者: coldfog 时间: 2004-9-6 05:52

镍和铂的溅射

•清洗后的样品要在一星期内溅射镍和铂,以防样品氧化.

•金属溅射前要进行氩气等离子体溅射.

•首先溅射Ni(99.999%, 0.8-1.2微米),然后溅射Pt(99.999%, 0.35-0.5微米). 金属层厚度均匀度应控制在20%(关键区域). 直流或高频溅射均可.

•溅射只限制在加工的铜表面.溅射完后不应有暴露铜. 不要在封装用钢环处溅射,怕影响以后的焊接.

•溅射完后检测金属层粘附性:1)用胶带剥离法,或2)400ºC下空气中烘烤5分钟表层无起泡和剥落.

作者: coldfog 时间: 2004-9-6 05:53

原材料

•原材料来源于Shinko, 它可以直接从Shinko买到, 或间接从我公司得倒.

•原材料由二种材料加工而成:

1)基材无氧铜(OFC), 参见日本标准JISC 1020R-1/2H

2) 二个钎焊上去的封装用钢环

•整个原材料首先闪镀一层0.2um(微米)Ni ,然后再化学镀一层=3um Ni (见美国军方标准MIL-C-26074)

作者: coldfog 时间: 2004-9-6 05:54

原材料

•来料质量检查(最好做一下)

–主要尺寸测量: 最大外经 8.985-9mm, 突出圆帽外径6.09-6.19mm, 中间直径平台宽度1.3mm,平台留空宽度1.55-1.96mm

–电镀镍厚度(金相样品)=3微米

–镀层粘附性检测(400ºC 下空气中烘烤5分钟表层无起泡和剥落)

激光刻字

•我公司提供产品序列号.序列号通常由六个号组成, 如ADC021. 字母I, Q, O, L, E, Z 不能用.

•每个产品不能有重复的序列号.序列号最好是连续的, 如ADC001, ADC002, ...

•序列号高度通常为0.914毫米.每字宽高比约为0.8.

•激光走线要连续, 字与字要有一定间距. 总之序列号须清晰可辩.

•激光熔透深度要控制最小.熔滴最大高度=2.5微米

机械精加工或抛光

•冷却液应防止铜的腐蚀.

•加工面只有中间一个平台(右图). 其它面不要动. 去掉0.1-0.16毫米到最终尺寸4.45-4.55毫米. 请注意直角要求.

•夹具不能接触二个封装钢环, 怕影响以后的焊接.圆帽端头(右图)可夹但力不能大. 否则留下痕迹或污点, 并影响平台留空宽度1.55-1.96毫米.

•加工面前面边沿不应有圆角(圆角半径R5微米)-关键区域

•加工面表面光洁度(粗糙度) Ra0.12微米-关键区域.

•在10-40倍立体显微镜下, 加工面表面不应有: 缺角(崩角), 毛刺, 划痕, 针孔, 和不可清洗的污物或颗粒.(此步可在清洗后进行)

作者: coldfog 时间: 2004-9-6 05:56

我有详细的图纸和技术资料，大家看有什么地方能做的啊。谢谢了。

作者: showashinku 时间: 2004-9-6 23:43

当然有

否则那么多进口来的设备去那里了？

国产的溅射设备也很多！

作者: coldfog 时间: 2004-9-9 06:05

楼主能给我些指点吗？那些企业啊

作者: zhangmianbo 时间: 2008-4-16 23:15
标题: 回复 #1 coldfog 的帖子
很多的长啊想深圳这边就有我所知道的有两家大型的企业想伯恩光学以及新泰有限公司

作者: jonying 时间: 2009-5-12 08:58

很多的长啊想深圳这边就有我所知道的有两家大型的企业想伯恩光学以及新泰有限公司
zhangmianbo 发表于 2008-4-16 23:15

我就在伯恩…

作者: zzzz 时间: 2009-5-13 09:12
有SPUTTER的都能做了
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作者: xiaofw 时间: 2009-5-14 13:15
瞧瞧！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！

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