光电工程师社区

标题: 膜裂问题 [打印本页]

作者: matta 时间: 2004-8-7 21:25
标题: 膜裂问题

如题。最近在镀分光膜时，镀膜结束后没有发现膜裂问题，在切割、烘烤结束后出现膜裂问题，请问大家是什么原因。基底是K9 ，所镀材料是SiO2 TiO2 。

作者: zz 时间: 2004-8-7 21:59
应力太大了

作者: matta 时间: 2004-8-7 23:02
谢谢二楼哦，请问怎样消除呢？应力大是由于材料不均匀引起的吗？

作者: sanma 时间: 2004-8-8 04:49
主要还是应力太大，表面的张力或拉力在外力作用下释放，就会膜裂，可以降低蒸发速率，调整温度等方法来减少应力。

作者: matta 时间: 2004-8-8 06:12
谢谢四楼的前辈，我现在就去试试！

作者: zz 时间: 2004-8-8 06:52

膜料特性所决定

作者: matta 时间: 2004-8-8 12:32
请问zz所说的膜料特性具体一点指什么呀？镀膜还需要化学的知识吗？

作者: xfx9721 时间: 2004-8-8 18:35
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作者: ic5 时间: 2004-8-9 01:16

我也遇到过这样的问题:

我用相同的工艺做膜已有半年的时间,但有一天,在切割时膜层突然崩裂.

我想此原因不会是应力大,因为做了半年仅仅出现就这一次!后分析可能是基板玻璃处理不干净.在此问一下各位大侠,除去上述俩种原因外,还有其他什么原因可以导致崩裂!

作者: matta 时间: 2004-8-9 02:19

是不是基底材料不均匀呢？

作者: zz 时间: 2004-8-9 16:11

不同材料的应力不同，不同材料和基体、不同材料之间的应力也不同。

膜崩裂不是应力，就是膜本身不牢，还有就是切割是破坏太大，还有吗？

作者: matta 时间: 2004-8-9 18:07
膜本身不牢有什么改进方法吗？越具体越好呀我用的是TFcale 呵呵！

作者: lh040805 时间: 2004-8-9 18:17
材料选对了，就是工艺问题了

作者: kuan 时间: 2004-8-11 21:48

影響膜裂的原因很多

應該逐一作測試才能了解

試試鍍後作烘烤可強化膜的結構

作者: wish 时间: 2004-8-11 21:51
若烘烤不当，膜反而会裂

作者: likeoe 时间: 2004-8-12 16:24

与薄膜的致密度也密切相关，对再次烧烤的薄膜，如果致密性高的话，稍不容易裂

作者: wtd 时间: 2004-8-12 19:04
是膜镀得不牢吧！提高温度试试！

作者: flyinlove79111 时间: 2004-8-14 03:34
把蒸发速率降低点看看，还有取零件时，温度降到到常温了没有？

作者: kingman 时间: 2004-8-14 05:47
原因很多，应该还是导致应力过大。有时候是随机的问题。

作者: chugqchugq 时间: 2004-8-23 17:52
边缘效应造成的.

作者: ZHE910 时间: 2004-8-25 19:11
请问ito镀膜时裂膜是什么原因？用的是直流磁控溅射

作者: xiaohe 时间: 2004-9-10 23:55
我个人觉得应在前期把问题尽量解决，防患于未然啊．先期解决清洗的问题和真空洁净度问题．就洁净度而言应该提高真空度和防返油，加深冷设备能解决．国产机很难做到，原因是未把深冷设备作为标配，镀稍高要求的膜就会出现这儿哪儿的问题．我做真空应用深冷设备的０５５１５３２９１９５何

作者: linmaco 时间: 2004-9-12 07:42

一种是选择与基底材料附着力好的膜料，

另种是从基底洁洗下手，

三是镀膜工艺改进，膜层越多应力越大，基片厚薄都很关键，国产机做IR-CUT滤光片0.3mm玻璃上镀膜难度就很大，设备等因素，

四是环境影响，

个人见解多多指教！

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