光电工程师社区
标题:
关于交替镀多层高低折射率膜出现的问题
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作者:
xiaojiang007
时间:
2011-8-26 17:38
标题:
关于交替镀多层高低折射率膜出现的问题
如题 在交替镀多层高低折射率的材料时 ， 发现膜厚仪上两种材料的走值差越来越小 镀到5到6层时 ，数值之差只有3到5个值之差 我的材料是zrti sio2 例如会出线zrti走到87的时候 换sio2 只走到84就回头了 而且走动很快 请问是什么原因呢 我的摸系是(HL)^10 H 望高手解答 谢谢
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作者:
longmin
时间:
2011-8-27 06:11
光控片最好是兩層一個點
作者:
zhangking
时间:
2011-8-27 11:38
最有可能的是应力,看看你膜系的敏感度.
可以考虑楼上建议
作者:
john03062003
时间:
2011-8-27 22:43
需要多个监控片来监控，如果只用两个监控片肯定会出现这种问题，随着厚度的增加，监控片上所镀膜层的等效折射率就越接近镀膜材料的折射率，因此，光量信号的敏感度会越来越小，走值也就会越来越少！
作者:
wangxudong1227
时间:
2011-8-27 22:50
会不会监控波长选择的不好？你要是选的截止掉的些段，都被截了还会有波动么？好吧我说的是直控··
作者:
逐梦者
时间:
2011-8-28 11:08
还是不懂！
作者:
meilirensheng
时间:
2011-8-28 15:50
作者:
xiaojiang007
时间:
2011-9-10 10:34
longmin 发表于 2011-8-27 06:11
光控片最好是兩層一個點
没有这多工位啊 只有6个监控位 那该怎么办啊
作者:
E501559
时间:
2011-9-13 17:13
光控不是在晶控的基础上才可用吗
作者:
yzhuang
时间:
2012-3-4 17:15
尝试两种膜料用不用光控位来控制
作者:
想夜的雨
时间:
2012-3-4 22:11
晶控和光控都要2层换一次，
作者:
royyang
时间:
2012-6-26 19:30
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还是不懂！
