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标题: Mark 2离子源温度问题 [打印本页]

作者: E501559 时间: 2011-9-1 09:37
标题: Mark 2离子源温度问题
如题， MARK 2 离子源没有水冷
我现在遇到的问题就是，在镀膜时，从开始到结束，一直都用离子源，所以在镀膜过程中因为真空室温度高，要停好几次，后来，检查后，发现，温度高的原因来自离子源发热严重
请大家帮忙研究一下，离子源发热跟那些因素有关系！不胜感激！

作者: 地平线 时间: 2011-9-1 13:45
没有水冷温度自然会升高的，不知道你镀的是什么产品，我用的也是MARK2离子源，镀的朔胶片，真空室温度一般都不会超过100度，没有什么影响啊。

作者: xiao2011 时间: 2011-9-1 16:39
离子源有没有通冷却水？

作者: E501559 时间: 2011-9-1 17:04

地平线发表于 2011-9-1 13:45
没有水冷温度自然会升高的，不知道你镀的是什么产品，我用的也是MARK2离子源，镀的朔胶片，真空室温度一般都 ...

你们的Mark 2 有水冷吗？
我们镀的也是塑胶件啊，但是温度较之前对比的话，有很大的变动，就是不知是什么对其有这么大的影响。

作者: E501559 时间: 2011-9-1 17:06

xiao2011 发表于 2011-9-1 16:39
离子源有没有通冷却水？

没有水冷系统，因为之前没有这样的状况啊，所以才问是什么原因啊

作者: xiao2011 时间: 2011-9-2 20:26

E501559 发表于 2011-9-1 17:06
没有水冷系统，因为之前没有这样的状况啊，所以才问是什么原因啊

是不是用的膜料和以前的不一样，

作者: valle 时间: 2013-8-23 16:23
在穩定ANODE A-DC 的狀態下，GAS FLOW數值突然增加到較大，在辦小時內提升了80%，會是什麽原因？

作者: clark007 时间: 2013-8-27 07:54
阳极电流恒定的话，气流是会变动的。个人经验：这个气流变化和背景真空度有关，比如刚开始膜料放气大的话，离子源气流也会比较低。仅供参考

作者: Ion.source 时间: 2013-11-18 21:13
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作者: cikelong2000 时间: 2013-11-27 22:36
本公司提供离子源，双水冷结构，性能稳定，价格便宜，有需要13693572892，QQ:13121563

作者: crl0129 时间: 2013-11-28 15:31
学习一下

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