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标题: TA2O5镀膜工艺请教 [打印本页]

作者: fql3310 时间: 2011-9-1 16:22
标题: TA2O5镀膜工艺请教
这个膜料镀膜如果不用离子源,材料吸收可以避免吗?

作者: fql3310 时间: 2011-9-1 16:24
请教哪位同行有镀过这方面的实验.回复一下.谢谢!

作者: xiao2011 时间: 2011-9-1 16:37

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-9-2 10:25

听说不用离子源没法镀的。。。

作者: wangzhengkm 时间: 2011-10-7 01:11
o??

作者: killjackson 时间: 2011-10-7 10:46
4楼说的对。
现代机器不带离子源的很少了，基本上是个标配。

作者: xiao2011 时间: 2011-10-7 14:41

，值班学习

作者: ghtzna 时间: 2011-10-9 14:18
Ta2O5 必须使用离子源这个是硬指标

作者: ipshjh2005 时间: 2011-10-10 07:17

作者: ipshjh2005 时间: 2011-10-14 07:22

作者: fql3310 时间: 2011-10-15 06:28
哎,我现在用的工艺落伍了好多年了!

作者: sery1234 时间: 2011-10-15 12:38
听说这个材料部用离子源吸收比其他材料更加恐怖！

作者: ipshjh2005 时间: 2011-10-18 07:11

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-10-18 09:50
Ta2O5吸收很严重吗？我前两天发了个帖子，问Ta2O5是否有什么问题，因为我在考虑要不要用它来全面替换我现在用的Nb2O5，但没人理我啊。。。

作者: JINFENG215107 时间: 2011-10-18 14:48
镀之前用一下就好了啊，

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-10-18 16:53

JINFENG215107 发表于 2011-10-18 14:48
镀之前用一下就好了啊，

不懂，请解释一下。。。。

作者: 福州大学 时间: 2011-10-18 20:27

作者: fql3310 时间: 2011-11-5 00:02
TA2O5好用,一定要用.但NB2O5这个材料也不错.拆射率高.相比TA2O5更好.

作者: cxm05371 时间: 2011-11-12 13:58

作者: 272813953 时间: 2011-11-14 23:43
不用离子源膜强度不好的啊

作者: 243667046 时间: 2011-11-15 07:44
避免失氧

作者: xiazg 时间: 2011-11-15 09:41
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