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标题: 激光干涉仪的两种分类及工作应用 [打印本页]

作者: hi1718 时间: 2011-9-7 11:10
标题: 激光干涉仪的两种分类及工作应用
激光干涉仪，以激光波长为已知长度，利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量。激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来作线性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等测量工作，并可作为精密工具机或测量仪器的校正工作。

激光干涉仪有单频的和双频的两种。单频激光干涉仪，从激光器发出的光束，经扩束准直后由分光镜分为两路，并分别从固定反射镜和可动反射镜反射回来会合在分光镜上而产生干涉条纹。使用单频激光干涉仪时，要求周围大气处于稳定状态，各种空气湍流都会引起直流电平变化而影响测量结果。

激光干涉仪在氦氖激光器上，加上一个约0.03特斯拉的轴向磁场。由于塞曼分裂效应和频率牵引效应, 激光器产生1和2两个不同频率的左旋和右旋圆偏振光。经1/4波片后成为两个互相垂直的线偏振光,再经分光镜分为两路。一路经偏振片1后成为含有频率为f1-f2的参考光束。另一路经偏振分光镜后又分为两路：一路成为仅含有f1的光束,另一路成为仅含有f2的光束。

作者: 心浪网友 时间: 2012-6-30 12:06
这个。。。

作者: nancy-y 时间: 2012-7-17 16:09
美国4DAccuFiz激光干涉仪-通用型，原来是做WYKO干涉仪的，后来做动态干涉仪就是不需要隔振台那种，现在也出通用型的激光干涉仪，看了看参数，分辨率比ZYGO的高，分辨的条纹数多。而且仪器做的很小巧

测量模式：时域相移，可选动态测量

光源：632.8nm 氦氖激光，可选稳频激光，532，1053，1064nm波长可选

输出光束：4in或6in（100mm或150mm），圆偏振准直光

参考镜：卡口式安装，通用标准接口

4in口径：4.25in（10.8cm）轴向、水平或侧边

6in口径：5.26in（13.3cm）轴向、水平或侧边

变倍：10X

对准：双光束指示

相机：600 x 600像素，12位，可选1200 x 1200像素，12位

操纵杆：远程控制变焦、变倍、pan、光源直径、测量

系统软件：4Sight波前分析软件（含用户手册）

               瞬时相移数据采集

            合成参考面，数据相减，数据平均，设置模板等操作

            2D及3D 表面形貌图

            Zernike / Seidel/ Slope / Geometric / Fourier 分析

            标定数据集的实际尺寸

            绝对球面，三球面标定

            支持HDF4 / HDF5数据格式

            同时支持（opd、map、dat、hdf、int、cvs及 txt）

尺寸：52.6 x 23.8 x 20.3cm

重量：<13.6Kg(30lbs)

功耗：<750W

温度范围    工作温度：60–80° F, 无凝结

                  储存温度: 30–100° F, 无凝结

系统性能
条纹分辨能力 500对

采样率：显示速率> 30 f/s

样品反射率：1 到100%（要求衰减）

RMS 重复性：< 0.0002 wave  RMS

                  <0.00004 wave  RMS（带扩展精密包）

未标定精度：< λ/20透射平面（参考平面）

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