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标题: 求教!防油污膜问题 [打印本页]

作者: 村干部88 时间: 2011-9-17 20:37
标题: 求教!防油污膜问题
基片CR39做6层AR加镀防油.<TI3O5.SIO2>用大金防油药阻蒸.镀了450A却一点防油效果都没有.真空6.0*10-3PA.要烧两到三颗药基片发朦.发白后洗干静才有点效果.尔后把基片不镀AR.直接烧防油一颗效果就很好.又把AR最后一层SIO2少镀300A.用SIO补镀.再上防油.一颗效果就有了.但又不耐擦.而且AR会擦变色.是防油药跟SIO2不兼容吗?试了度恩等其它几种防油药都差不多.但镀防水药效果又很好.请各位大侠指点一下!

作者: 玲玲 时间: 2011-9-17 21:42
改变AR 镀层，用(AL2O3+H4)+MGF2+SIO2(300A)+防油膜，提高蒸镀条件。

作者: LILISRLHJ 时间: 2011-9-17 22:42

玲玲发表于 2011-9-17 21:42
改变AR 镀层，用(AL2O3+H4)+MGF2+SIO2(300A)+防油膜，提高蒸镀条件。

cr39 MGF2也上来那，不知道是什么工艺，可以的话请指教一下！！天天学习！！

作者: 村干部88 时间: 2011-9-18 10:26
谢谢.因为片基为CR39不行热镀.容易变型.暂不考虑MGF2.今天又试了两炉.一炉用SIO2打底<200A>直接镀防油.一炉用SIO打底<200A>直接镀防油.同等条件下.SIO的有效果.而SIO2的没有.机台1200*1400.行星转架.真空6.0*10-3PA.跟材料有关系吗?

作者: 玲玲 时间: 2011-9-19 21:51

村干部88 发表于 2011-9-18 10:26
谢谢.因为片基为CR39不行热镀.容易变型.暂不考虑MGF2.今天又试了两炉.一炉用SIO2打底直接镀防油.一炉用SIO打 ...

看你的实验结论就是SIO2+防油膜不可以，但你有无改变SIO2的镀膜条件试验，不充氧或镀膜时加温40-50度左右，以上供参考！

作者: 宇宙深处 时间: 2011-9-20 11:52
这确实是个问题，行业性的问题，跟你的技术好坏无关。
我建议你补SIO时少上一点约60~90即可！这样能很大程度减轻掉色的现象!个见, 问好!

作者: 村干部88 时间: 2011-9-20 21:06
谢谢大家帮忙.只是这问题太怪了!今天把基片直接镀防油.混一片镀好AR的<最后一层SIO2>一起镀.其它的效果OK.镀AR的不行.晕头转向......

作者: zjtiantao 时间: 2011-10-26 13:06
你所说的SIO和SIO2是否只是镀膜时充氧与否的差异，材料都是SIO2？
据我所知，AS薄膜前一层最好不要充氧，不要使用离子源。

作者: haitao1573 时间: 2011-10-27 22:15
学习了，

作者: shuangzixing 时间: 2011-10-28 08:58
主要控制好镀防水膜药片。不能使药片融化

作者: xiao2011 时间: 2011-11-28 13:29

作者: tyan007 时间: 2011-11-30 10:04
跟sio2应该没有什么关系的。你用的是大金的防油膜吧？

作者: 272813953 时间: 2011-12-1 21:33
学习中

作者: 272813953 时间: 2011-12-4 16:21

作者: HZI84 时间: 2012-5-23 14:44
镀完SIO2后，镀防水药不要充氧，不要离子源辅助，不要加烘烤！

作者: zouyou828459 时间: 2012-5-24 09:58
学习了

作者: wdydede 时间: 2012-5-26 23:34

作者: dcs519 时间: 2012-6-15 22:11
天天学习

作者: zhesky 时间: 2012-6-18 22:17
学习中

作者: guihangren 时间: 2012-6-21 11:14

作者: funky5043 时间: 2012-10-11 10:25
在SiO2層上先做plasma處理, 增加表面活性再鍍防污膜
應該會有助於防污膜和SiO2的bonding喔~

作者: 防霉光学镀膜 时间: 2013-3-20 16:39
为什么不用化学镀膜液呢？要是sio2的底层膜，上面加镀防污镀膜层，用化学镀膜液是效果很好的，直接是化学键链接，很牢固，不要真空镀膜机，手工就能完成。

看了好几个帖子都是问这个问题，很多人可能忘记了化学镀膜了

我公司这里有含氟化物的化学镀膜液
QQ：2450408632

作者: wdydede 时间: 2019-7-2 23:02
学习了，受益匪浅

作者: JJK-晶振片-何 时间: 2019-7-3 08:34
学习了

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