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标题: 白光干涉仪的工作原理和应用领域及其特点 [打印本页]

作者: hi1718 时间: 2011-9-22 09:35
标题: 白光干涉仪的工作原理和应用领域及其特点
白光干涉仪工作原理，照明光束经半反半透分光镜分成两束光，分别投射到样品表面和参考镜表面。从这两个表面反射的两束光再次通过分光镜后合成一束光，并由成像系统在 CCD 相机感光面形成两个叠加的像。由于两束光相互干涉，在 CCD 相机感光面会观察到明暗相间的干涉条纹。干涉条纹的亮度取决于两束光的光程差，所以根据白光干涉条纹明暗度就可以解析出被测样品的相对高度。

白光干涉仪的主要功能：观察、分析、应用　　
白光干涉仪特点：
1 、非接触式测量：避免物件受损。
2 、三维表面测量：表面高度测量范围为 1nm ---200μm。　
3 、多重视野镜片：方便物镜的快速切换。　　
4 、纳米级分辨率：垂直分辨率可以达0.1nm。　　
5、高速数字信号处理器：实现测量仅需几秒钟。　　
6 、扫描仪：闭环控制系统。　　
7、工作台：气动装置、抗震、抗压。　　
8 、测量软件：基于windows 操作系统的用户界面，强大而快速的运算。

白光干涉仪应用领域：　
1、半导体晶片
2、液晶产品（CS,LGP,BIU）　
3、微机电系统　
4、光纤产品　　
5、数据存储盘（HDD,DVD,CD）　　
6、材料研究　　
7、精密加工表面　　
8、生物医学工程

作者: 郁闷 时间: 2011-9-22 10:32
工业测量中，讲到精度，还是白光干涉的厉害啊。
亚纳米级的精度，厉害。

作者: 没问题 时间: 2011-11-19 09:51
白光干涉仪在测量物体表面微细三维形貌方面优势明显。
快速测量二维、三维、粗糙度、线宽、台阶、沟槽等指标至1nm的精度。
是一种不错的选择。

作者: 百晓生39 时间: 2012-1-10 13:20
有学习的必要，学习了，谢谢了

作者: 森林狼 时间: 2012-3-8 21:55
学习了，

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