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标题: 离子源 [打印本页]

作者: cikelong2000 时间: 2011-9-23 10:56
标题: 离子源
北京镨玛泰克全面提供各种功率离子源以及磁控溅射靶和各种弧源,有需要请联系13693572892 pmtek_lxl@163.com
一PowerIon系列圆形霍尔等离子源的特点简介

结构先进

等离子体束流大

可在高温环境下长期可靠工作

完全适用于反应气体

悬浮电位显示

安装简便、维护简单运行成本低

空间均匀性强

操作简单
I.

二阳极膜离子源的特点
 大束流,高密度
 无栅极和灯丝
 适合各种工作气体:O2, N2和
碳氢气体
 能在溅射压强下工作
 离子束能量范围:100~2000eV
 维护简单
基体预处理提高膜层附着力
提高膜层聚集密度
有效控制薄膜内应力,调整成分化学配比,优化显微结构

三受控型阴极弧源
 阴极弧源蒸发时而不产生熔池，可以任意方位布置，可采用多个弧源同时工作。
 离化率高于达80％，显著提高膜层附着力和性能。
 沉积速率快、效率高，无环境无污染、节能效果明显。

四溅射阴极源
 有限元计算磁场设计
 磁铁与水隔离, 避免性能退化
 高靶材利用率
 高溅射速率、高功率密度
 兼容射频和直流溅射模式

作者: cikelong2000 时间: 2012-1-10 15:21
ding!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!

作者: cikelong2000 时间: 2012-7-9 13:30
希望大家多支持支持!

作者: cikelong2000 时间: 2012-11-29 13:39
顶!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!1

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