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标题: 常用膜料AL2O3的问题 [打印本页]

作者: 缘睐汝痴 时间: 2011-10-7 22:54
标题: 常用膜料AL2O3的问题
大家好，有AL2O3膜料使用问题，请大家帮帮忙。
现在我们用AL2O3没有充氧，听说没有充氧，AL2O3会发黄，请问不充氧的时候AL2O3会是什么成分呢，充氧与不充氧的优劣呢，我们用AL2O3的时一直没有充氧，除了膜料会发黄外还没有发现其他什么问题，请大家帮帮忙了，渴望求解

作者: ghtzna 时间: 2011-10-10 10:59
用中折射率的材料来做AR 你的初始真空度要确认充氧和不充氧是一个相对的真空度好的话基本上充氧就是起到更好的结合。。。。。。。。。。

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-10-11 14:13

从他这几个月的帖子看下来，真空度是没有问题的。。。
不是说充氧能够使得膜层更加致密么。是否会导致膜层吸收增大？从而导致损伤阈值降低？
我在镀膜的时候有一种氧化物也是规定不充氧的。

作者: xiao2011 时间: 2011-10-11 19:26

作者: 风寒雪月缺 时间: 2011-10-12 10:02
AL203会失氧，不充氧有吸收。

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-10-12 10:36

额，我说的就是不充氧就会
“是否会导致膜层吸收增大？从而导致损伤阈值降低？”

作者: 风寒雪月缺 时间: 2011-10-12 10:42
相当的。

作者: huang12949 时间: 2011-10-12 19:09
不充氧，有可能AL2O3成膜会分解为ALO，AL ，成膜会呈现金属质吸收，直观的表现是AR膜镜片发黄，如果用奥林巴斯反射仪测定时其反射是符合要求的，但测透过时，你会发现透过NG。所以AR膜中氧化物不充氧的可能后果。上面一位兄台说充不充氧是相对的，主要看你的镀膜初始真空值，这个是正确的，但不是定理。

作者: 缘睐汝痴 时间: 2011-10-12 19:46

huang12949 发表于 2011-10-12 19:09
不充氧，有可能AL2O3成膜会分解为ALO，AL ，成膜会呈现金属质吸收，直观的表现是AR膜镜片发黄，如果用奥林 ...

请教一下你认为AL2O3的镀膜真空条件多少比较好呢，比如我镀膜真空是2.0-3开始镀膜和我4.0-3开始镀膜充氧会是什么情况呢，目前为止，我还不知道AL2O3有关的性质，看了很多资料，都没有看到，大部分资料都是介绍MGF2，SIO2，TIO2等

作者: 风寒雪月缺 时间: 2011-10-13 13:38
充氧和不充氧是工艺需求，背景真空是提供一个更加洁净的真空环境，杂质更少，在你工艺条件允许的情况下，低点也好。充氧不充氧不是真空度决定的。

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-10-13 14:59
我充氧是从6.0e-3开始的咧。老镀膜机了，没办法。等哪年换新镀膜机了，我从-4开始充氧镀膜去。

作者: 风寒雪月缺 时间: 2011-10-13 16:20
等以后咱到天宫去做，真空度不用看了。

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-10-13 16:38
这个有点难，要公务员指标的。。。

作者: ipshjh2005 时间: 2011-10-14 07:18

作者: Martin_Ko 时间: 2011-11-1 03:09

作者: zhangmo 时间: 2011-11-25 15:01
学习了

作者: kelvin8741 时间: 2011-12-7 17:00
把chamber裡的真空度抽低一點，在鍍的時候加上氧氣，應該可以解決

作者: 272813953 时间: 2011-12-7 22:38

作者: ipshjh2005 时间: 2011-12-14 22:51

作者: ipshjh2005 时间: 2012-1-2 21:37

作者: wangzhengkm 时间: 2012-5-2 23:11

作者: royyang 时间: 2012-6-1 23:28
学习

作者: LOUYC 时间: 2013-7-23 16:19
充氧不需太多，但是走值很不稳定，尤其光控。

作者: yong0009 时间: 2013-7-24 09:58

作者: ipshjh 时间: 2013-7-31 07:28

作者: 永远より_ながく 时间: 2013-8-21 16:48
我们一直就没充过氧，没出现过发黄的现象

作者: crl0129 时间: 2013-12-7 12:34

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