光电工程师社区

标题: 基于光学微腔的MOEMS微位移传感器 [打印本页]

作者: 这个夏天 时间: 2011-10-11 16:00
标题: 基于光学微腔的MOEMS微位移传感器

基于光学微腔的MOEMS微位移传感器.pdf (322.1 KB, 下载次数: 6)

该MOEMS微位移传感器是一种基于光波导环形谐振腔的悬臂梁式传感器,通过一系列的微加工技术集成制造在SOI材料上。光学微腔是一种新型的光学谐振腔,当其在回音廊模式下（WGM）共振时可以检测到规则的透射谱图,该传感器通过测量透射谱的偏移来确定位移量。利用有限元分析法可以得到悬臂梁结构的最佳尺寸参数,利用时域有限差分方法（FDTD）可以得到环形腔投射谱的偏移特性。当使用跑道型谐振腔时,该新型传感器最高可以探测到10nm左右的位移量。

作者: ccn123 时间: 2011-10-31 14:40

欢迎光临光电工程师社区 (http://bbs.oecr.com/)