光电工程师社区

标题: 镀膜设计与工艺 [打印本页]

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-10-13 10:44
标题: 镀膜设计与工艺

我快抓狂了。。。。
所有的镀膜工艺，我还原成镀膜设计后，没有一个曲线吻合的，而且都是偏差极大的那种。。。。
我到底是哪里弄错了啊？

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-10-13 10:48
光控的时候，如果镀一个膜层就换一次监控片，它和镀2个膜层后再换一次监控片有什么区别？会对走值什么的有影响吗？

作者: 风寒雪月缺 时间: 2011-10-13 13:28
要是你现在生产出来的产品没啥问题，那铁定是你还原的有问题。结构和折射率，你找找看

作者: 风寒雪月缺 时间: 2011-10-13 13:32
换监控片有时为了减少监控误差。为了更换监控波长，也得换监控片。或者有时候获得信号逐渐减少，这样也需要几层换一个。换不换监控片你可以模拟下光控曲线，走值区间越大越好，太小则误差较大，考虑更换。我们是透射光控，一片监测几十层也没问题。

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-10-13 13:53
谢谢，我是反射光控，更换监控波长的时候，是必须要换监控片的。
结构和折射率已经反复的进行了核对。主要是出来的曲线与实际曲线完全不一样。如果是折射率有小误差的话，不会差这么多才是。我也在TFC上对折射率及厚度进行了实时调整，但仍然不行。

作者: xiao2011 时间: 2011-10-13 18:38

作者: longmin 时间: 2011-10-14 08:19
設計與實際是永遠不一樣的

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-10-14 09:17

可也不能偏差这么多啊。。。。我都怀疑膜料的折射率不对了。

作者: otxtc 时间: 2011-10-14 09:47
Tooling

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-10-14 10:14
不是偏差一点啊什么的，是镀膜曲线完全不对啊。。

作者: captainH 时间: 2011-10-14 13:40
楼主是把别人做的工艺还原成自己的膜系吧？

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-10-14 14:08
嗯。对的。

意思是没错，但为什么我觉得像是说我在剽窃。。。。

作者: xiaojiang007 时间: 2011-10-15 09:40
每台机器出来的东西都不一样是不是你的材料以及基底不对呢

作者: stl03132 时间: 2011-10-16 22:33

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-10-17 11:35
工艺是没有问题的。只是我模拟的不对。但我在网上查得的数值，应该偏差不大才是。嗯嗯嗯，到底我哪里做错了呢。。。

作者: xiaozhou 时间: 2011-10-17 19:52
学艺不精嘛，继续探索吧

作者: ipshjh2005 时间: 2011-10-18 07:07

作者: mfsw123 时间: 2011-10-18 23:16
机器做的和模拟的有误差吧

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-10-24 15:38
最近看了一些使用TFC设计的实例，感觉软件使用应该是没有错的。我现在奇怪的就是实际上使用的工艺参数，在TFC上设计，怎么都不正确。
例如我要镀的是1315的双点AR，按照工艺镀出来的曲线没什么问题，但在TFC软件上按照相应监控波长计算出来的却是这样的：

1.JPG (100.29 KB, 下载次数: 134)

作者: fql3310 时间: 2011-10-25 13:29
系数的事情。

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-10-25 13:37

fql3310 发表于 2011-10-25 13:29
系数的事情。

你是说tooling的原因吗？但优化后的曲线完全和优化前非等比例的。
你能说的具体点吗？

作者: fql3310 时间: 2011-10-26 16:59
这个不好说,去现场比较好解决.公司在哪?

作者: huang12949 时间: 2011-10-27 11:43
在我觉得TFC只能是一个参考模拟。尤其是在每台机器实际镀出来和TFC模拟出来相差非常大的时候，这个原因有很多，真空度，离子源，材料等。如果说想设计和实际基本达到一致，需要下功夫的。最简单的就是它随机器配带的薄膜软件，这样的是比较靠谱的，但是这样的牛逼的东西很少见，我见过，也用过。

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-10-27 13:31

十年前的老南光，哪有什么配软件的啊。。。

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-10-27 13:33

fql3310 发表于 2011-10-26 16:59
这个不好说,去现场比较好解决.公司在哪?

哥哥啊，就算我想让你看，我老板也会剁了我的。

作者: fql3310 时间: 2011-10-28 14:33
工艺很垃圾吧!

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-10-28 15:56
本帖最后由 Jimmy_tang 于 2011-10-28 16:06 编辑

只是因为公司管理制度的原因，不欢迎人员随便上门而已。

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-10-28 16:04
本帖最后由 Jimmy_tang 于 2011-10-31 10:36 编辑

没事，我说话口气也不好，请你同样谅解，因为毕竟涉及到公司形象的。

作者: fql3310 时间: 2011-10-28 19:28
哦,抱歉了!

作者: Martin_Ko 时间: 2011-11-1 01:56
路过

作者: ghtzna 时间: 2011-11-2 11:40
别人的和自己的很多东西是不一样的自由亲自去做才能验证是否OK，所以还是自己有空做一下吧

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-11-2 13:45

ghtzna 发表于 2011-11-2 11:40
别人的和自己的很多东西是不一样的自由亲自去做才能验证是否OK，所以还是自己有空做一下吧

嗯，谢谢了。我现在在把实际镀出来的曲线试着用TFC拟合，看看能不能猜出tooling值什么的。

作者: xiao2011 时间: 2011-11-28 13:22

作者: ipshjh2005 时间: 2011-11-28 22:06

作者: jiayuch 时间: 2011-11-30 08:34
做增透膜晶控比光控好使

作者: jiayuch 时间: 2011-11-30 08:35
让老板配个晶控万事大吉

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-11-30 10:02
我还不会用晶控呢。。。。

作者: 又是id 时间: 2011-11-30 23:05

作者: 缘睐汝痴 时间: 2011-12-1 10:17

Jimmy_tang 发表于 2011-11-2 13:45
嗯，谢谢了。我现在在把实际镀出来的曲线试着用TFC拟合，看看能不能猜出tooling值什么的。

又看了一遍，终究还是认为是TOOLING的原因哈，但是相信你现在已经搞定了，呵呵

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-12-1 10:35

缘睐汝痴发表于 2011-12-1 10:17
又看了一遍，终究还是认为是TOOLING的原因哈，但是相信你现在已经搞定了，呵呵

嗯，刚搞定。测试的时候，分光光度计的偏差也让我走了不少弯路。
一般来说，分光光度计是否最好要预热一个小时？

作者: 缘睐汝痴 时间: 2011-12-1 10:51

Jimmy_tang 发表于 2011-12-1 10:35
嗯，刚搞定。测试的时候，分光光度计的偏差也让我走了不少弯路。
一般来说，分光光度计是否最好要预热一 ...

没有听过这种说法，只是光度计校正好就可以了吧，你的偏差是什么情况呢。校正的时候我倒是遇到过需要校正几次的，这个有时有偏差

作者: 缘睐汝痴 时间: 2011-12-1 10:53

Jimmy_tang 发表于 2011-12-1 10:35
嗯，刚搞定。测试的时候，分光光度计的偏差也让我走了不少弯路。
一般来说，分光光度计是否最好要预热一 ...

能不能加QQ呢，我的QQ是284374048——缘睐汝痴

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-12-1 12:10

缘睐汝痴发表于 2011-12-1 10:53
能不能加QQ呢，我的QQ是284374048——缘睐汝痴

加了。。。

作者: 缘睐汝痴 时间: 2011-12-1 18:58

Jimmy_tang 发表于 2011-12-1 12:10
加了。。。

恩，我也加了，呵呵，谢谢

作者: dcjlcm 时间: 2011-12-2 11:53

Jimmy_tang 发表于 2011-12-1 10:35
嗯，刚搞定。测试的时候，分光光度计的偏差也让我走了不少弯路。
一般来说，分光光度计是否最好要预热一 ...

有时分光光度机有时候误差是很大的，我就遇到过这样的情况。建议如果觉得测量误差很大的话就再测一次或者把光度计关了再开再测，看看。

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-12-2 16:52

dcjlcm 发表于 2011-12-2 11:53
有时分光光度机有时候误差是很大的，我就遇到过这样的情况。建议如果觉得测量误差很大的话就再测一次或者 ...

是的，后来才学会预热时间加长并做多次归零的办法。不过感觉最好还是避开换光源的波长点最好。例如我的这台在1800多有个跳变点，828附近有一个，360附近也有一个，所以后来的扫描就压缩在1700到370范围了，可以把10%的偏差压缩到1%以内。
另外，如果你要重新开关机的话，最好关机后等15分钟以上再开机，这样对光源和机器都会好些。

作者: dcjlcm 时间: 2011-12-3 17:10

Jimmy_tang 发表于 2011-12-2 16:52
是的，后来才学会预热时间加长并做多次归零的办法。不过感觉最好还是避开换光源的波长点最好。 ...

是的关了之后，要等下才开。我们的只能测到190-900.呵呵

作者: 霸占妳的全部 时间: 2011-12-3 21:55

Jimmy_tang 发表于 2011-10-13 10:48
光控的时候，如果镀一个膜层就换一次监控片，它和镀2个膜层后再换一次监控片有什么区别？会对走值什么的有影 ...

不是很清楚，我们都是毒二层换一次的

作者: 霸占妳的全部 时间: 2011-12-3 21:58

作者: 霸占妳的全部 时间: 2011-12-3 21:59

mfsw123 发表于 2011-10-18 23:16
机器做的和模拟的有误差吧

有

作者: 霸占妳的全部 时间: 2011-12-3 22:01
该换了

作者: 霸占妳的全部 时间: 2011-12-3 22:02

Jimmy_tang 发表于 2011-10-28 15:56
只是因为公司管理制度的原因，不欢迎人员随便上门而已。

光电公司都是这样的，是不希望有外人参观的

作者: 霸占妳的全部 时间: 2011-12-3 22:03

jiayuch 发表于 2011-11-30 08:34
做增透膜晶控比光控好使

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-12-3 22:57

霸占妳的全部发表于 2011-12-3 22:02
光电公司都是这样的，是不希望有外人参观的

是的，因为光电公司很多工序都没有什么技术难度的，都只是小技巧，如果客人要求参观什么的就很尴尬，一般是不允许客户进车间的，即使进去也只能远距离观看。

作者: ipshjh2005 时间: 2012-1-2 21:41

作者: swanson 时间: 2012-1-3 16:18
tooling factor

作者: 新手求教 时间: 2012-5-8 21:38
会不会是TOOLING？等高人解答

作者: royyang 时间: 2012-6-26 18:58
呵呵

作者: ken_jinyan 时间: 2012-8-30 19:50
我也遇到过楼主的问题，新科隆机器的膜系设计软件ZXC_J中一个的增透膜膜系，把膜系设计中的的各项参数（折射率、QWQT、监控波长、基板折射率）照搬到TFC，模拟出来的曲线就不一样。貌似大部分是曲线整体上移1%（反射率）。不知道是什么原因造成的。

作者: chao_li0622 时间: 2012-9-30 20:38

作者: 超越 时间: 2012-10-9 13:57

作者: 超越 时间: 2012-10-9 14:15

作者: LOUYC 时间: 2013-7-23 11:37

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