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标题: 神奇的镀膜机啊，你究竟是怎么了 [打印本页]

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-10-14 17:00
标题: 神奇的镀膜机啊，你究竟是怎么了
我的一台老的南光镀膜机，从中秋那天开始突然不行了，莫名其妙抽真空抽到一定数值抽不动了（例如说2.0e-2），然后就找原因，但到处都找不到漏气点。（用无水乙醇测疑似漏点）但是都找不着。
想会不会是充氧管漏气，于是拔下来，补了真空泥，再塞进去，重新抽真空，果然就可以了。于是很高兴，以为没问题了。
结果，过2天，突然又不行了，同样的情况，抽真空抽到一定数值，抽不动了。而且是早上第一炉啊。再试充氧管插口，还是没有漏气。不管三七二十一，再拔下来补真空泥，再塞，重新抽真空，于是又可以。
问题是，再过2天，又不行了。第三次干脆什么也不做，放气，直接重新抽，又可以了。。。
然后是隔天又继续完蛋。再试充氧管，居然没效果了，反复再抽真空，到下午，又勉强可以。我都快被折磨死了。。。。
于是认为可能是机械泵的问题。国庆后，先试一趟抽真空，果然抽不动，把泵洗了一遍，弄到全身洗油，再抽，马上见效。
第二天也没问题，于是很高兴。
但第三天，又抽不动了！我快崩溃了。干脆换了个另一台镀膜机的机械泵，再抽真空，又可以了。
但我决定看再隔天的效果。。。。
果然，今天又不行了。。。。
哪位大神能告诉我，这台镀膜机到底是怎么了啊？我内内外外洗了N遍，用无水乙醇把所有的关节处都试过了，死活就是找不到漏气点啊。
而且还是这样，抽几次真空之后就会好些。。。。

救命啊。

作者: LILISRLHJ 时间: 2011-10-14 20:36
那就看看你的门吧！！

作者: 缘睐汝痴 时间: 2011-10-15 05:50
深有体会，我是检查不出来的，我们的南光机和楼主的很像，现在也有这种问题

作者: xiaojiang007 时间: 2011-10-15 09:37
楼主真不幸啊！换机器吧呵呵呵

作者: fql3310 时间: 2011-10-16 11:36
只有靠你慢慢想了.好好想.思路要在确.一般想好了一天就OK了.

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-10-17 09:13

整个镀膜机几乎就是一寸一寸摸下来的，门也检验过了，观察窗也确认了，橡胶条也换了新的，而且门对应的金属面也是反复擦了又擦。
还是一点用也没有啊。

作者: mangovc 时间: 2011-10-17 09:17
是不是你真空仪有问题？正常的时候你冲点氧看下真空变化是否正常。还有看下真空规管是不是该换了。

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-10-17 09:55

真空规管也更换了，充氧接头也换了，抽气泵也换了，扩散泵的油刚前几个月做的更换，门口的橡胶条也换了，外壳和机械泵管道处只要是有接缝的地方我都用乙醇测试了，甚至连光控的通光窗口也测过了。还是找不到问题在哪里啊。
正常的时候，充氧什么的完全正常。
真空仪应该也没有问题，不过我没有额外的真空计来证明这一点。

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-10-17 09:56

缘睐汝痴发表于 2011-10-15 05:50
深有体会，我是检查不出来的，我们的南光机和楼主的很像，现在也有这种问题

你的症状是什么样的？和我的一模一样吗？有没有考虑请南光的来修？
我这的设备工程师认为就算找他们也未必有用啊。

作者: 缘睐汝痴 时间: 2011-10-17 10:38

Jimmy_tang 发表于 2011-10-17 09:56
你的症状是什么样的？和我的一模一样吗？有没有考虑请南光的来修？
我这的设备工程师认为就算找他们也未 ...

我们这儿的症状看起来差不多，真空度时好时坏，找了外面的设备机修过来，主要问题还是没有找到，现在怀疑是机械泵有问题。还是凑合着用，除了没有用氦检测仪，几乎每个能检查的地方都检查了，还是检查不到哪里漏气这些问题

作者: filmokay 时间: 2011-10-17 11:05
不要动太多地方，没有问题的地方恢复回去。记录下来，一步一步的。

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-10-17 11:06
唉，机械泵我都换了个新的，还是不行啊。

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-10-17 11:12

filmokay 发表于 2011-10-17 11:05
不要动太多地方，没有问题的地方恢复回去。记录下来，一步一步的。

哥哥啊，这不是做实验，少台镀膜机要死人的。。。
没有问题的地方也优化了，问题是，即使是这样也没找到到底哪里漏气了。
我已经抓狂了。

作者: Haa 时间: 2011-10-17 11:29
检查一下机器后面的那些气管，看看有没有漏气

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-10-17 11:33
气管只要有接缝或者焊缝的地方也都一寸寸摸过去了。唉。。。

作者: Guoyl 时间: 2011-10-17 12:19
下面的公司是做进口镀膜机维修的，很厉害。你可以咨询一下他们。
Website：www.shamity.net

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-10-17 13:05
非常感谢，但这台镀膜机是天朝出品啊。

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-10-17 15:33
暂时可以用了。抽真空的效果赞赞的，异常的快——比正常的时候还快很多，不知道明后天是否又会出问题。

作者: xiaozhou 时间: 2011-10-17 19:48
不排除电子枪密封圈老化了

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-10-18 08:55
电子枪的密封圈？可能是款式不同吧，我那台镀膜机电子枪全在真空室内啊。离子源的密封圈倒是确认过了，似乎没有问题。昨天是把高阀动了一下。

作者: WENJINGREN 时间: 2011-10-18 09:19
我们的设备也有同样的问题，现在观察和加热有关，不知你那有没有这种情况

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-10-18 09:31

我这台似乎和加热关系不大啊。你的和加热有问题，是不是加热后真空度降低啊？

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-10-18 11:11
今天又是动了充氧接口然后正常。。。。抓狂中

作者: 阿俊 时间: 2011-10-18 13:51
你确认一下进气阀吧，这地方让我抓狂了半个月，和你一样，时好时坏，它是内部漏气，外面用丙酮都测不出来。
南光机，折腾人呀。

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-10-18 14:04

阿俊发表于 2011-10-18 13:51
你确认一下进气阀吧，这地方让我抓狂了半个月，和你一样，时好时坏，它是内部漏气，外面用丙酮都测不出来。 ...

谢谢，我试试看能不能行。这个阀刚换不到一年而已。这个位置我也测过，确实测不出来什么。

作者: JINFENG215107 时间: 2011-10-18 14:44
楼主什么都看过了，还是没有发现问题。会不会就是最简单的问题：比如真空计阀门控制不稳？充氧的阀门漏气了？

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-10-18 15:05
哥哥，真的反复查过不下10遍了啊，10遍以上的。光是机械泵就洗了一次换了一次，充氧阀门重装20遍以上，真空计阀门反复检验了4次，真空计换了1个，还有其他很多。。。

作者: mfsw123 时间: 2011-10-19 06:06
是不是掉东西在里面了哦新手瞎说的哦

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-10-19 09:11
不会的啦，真空室内被底朝天的拆过两三次了，哪里还可能掉在里面哦。。。

作者: 苏州膜头 时间: 2011-10-19 21:07
楼主可怜啊！！！
天朝的机器就是这样的。我这也有一台，08年的。一个月内连着两次都出同一个问题，6毫米的箱体漏气！！！高倍放大镜一寸一寸的找吧，哈哈。估计制造前没探伤，完工后也没有探伤。你要有个超声波探伤仪的话就好办了，要没有就一寸一寸慢慢找吧，同情啊楼主。

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-10-20 09:39

苏州膜头发表于 2011-10-19 21:07
楼主可怜啊！！！
天朝的机器就是这样的。我这也有一台，08年的。一个月内连着两次都出同一个问题，6毫米的 ...

我晕死咧。这种问题都有。
不过我最受不了的就是，虽然我找不到问题所在，但只要我瞎折腾一趟到两趟，它的抽真空能力又莫名其妙的逐渐恢复了。。。
有时甚至完全不折腾也会变好。
但一定要抽真空两次以上。

作者: 漂流四方 时间: 2011-10-20 09:47
这样的情况就要找厂家来修的
他们可以解决问题的！

作者: ds1234567 时间: 2011-10-20 15:09
本帖最后由 ds1234567 于 2011-10-27 21:52 编辑

我的朋友有一台旧镀膜机,闲聊时他说一台机器几十个密封圈,一个不行你干去吧,半天也抽不上去,一天最多干一罩,我一天干4罩,抽真空2小时搞定.你的密封性怎么上去的,全是进口的,别看贵,那质量就是好.
我猜你新安的也不保100%不漏气,所以反反复复,没完没了. 随机多点漏气！

作者: ghtzna 时间: 2011-10-20 15:37
查漏吧。。。。。。。。。。。。。。

作者: snebur 时间: 2011-10-20 16:43
检漏是最繁琐的事情。可惜是南光机呀。这种情况太复杂了。原因很多。要一点点排除！别着急要有耐心。

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-10-20 16:54

除了反复修及泪奔外，没想法了。。。

作者: 苏州膜头 时间: 2011-10-20 18:28
扩散泵能进-5的话，那就是真空室箱体有问题，没有办法的慢慢找啊。
楼主搞定了记得跟大家通报一下啊。同情中。

作者: guhua530 时间: 2011-10-20 21:25
检查放气阀、低阀的密封圈

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-10-21 09:13
因为这台镀膜机用了好多年的缘故，放气阀低阀高阀等密封圈都老化开裂了，但在更换新的密封圈后，也没有什么变好的倾向。因为就像我在楼上说的，不管是动氧气接口还是动泵还是动放气阀高阀，似乎都有效过，所以导致我完全不知道到底真的问题出在哪里。

作者: fql3310 时间: 2011-10-21 21:04
你镀膜机的真空系统和扩散泵系统不是同一个机械泵的.真空系统连接机械泵是用金属管连接的吗?

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-10-24 10:55

fql3310 发表于 2011-10-21 21:04
你镀膜机的真空系统和扩散泵系统不是同一个机械泵的.真空系统连接机械泵是用金属管连接的吗?

嗯，对的，是用金属管连接。不过你说的不是一个机械泵是什么意思呢？我只有一个机械泵啊。

作者: killjackson 时间: 2011-10-25 09:00
建议楼主用排除法。
根据描述特别是充气口，把充气阀拆掉，用堵头封死。
如果还漏，就是别的地方。

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-10-25 09:29
谢谢，排除法我用过了，充氧口子堵过，放气阀也堵过。最郁闷的就是，都是似乎有效。

作者: bomolaonan 时间: 2011-10-25 10:28
楼主每次所动过某一地方之后真空就好了其实只是假象而已，换言之，你什么地方都不动，重新抽一次，可能真空也会有变化的（可能会突然变好），那么你就应该知道要检查哪些部位了。。。

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-10-25 11:02

但之前的情况又不是完全如此，有的时候不管几次都抽不下来，非要动一下氧气接头或者放气阀才可以。
这几天就是这样了，抽第一炉真空时，抽不下来，然后抽第二次，真空就下来了。已经连续4天这样了，再持续观察3天就满一周了，如果还这样，我就只能认了，每天早上多抽一次。
暂时的怀疑，是扩散泵的油温不够高。这几天天气冷下来了，电炉都不热了。。

作者: fql3310 时间: 2011-10-25 13:22
哎，你还是个新手，这些都搞不定？多想想。

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-10-25 13:31
暂时的怀疑而已。电炉本来冬天的热度就会低一些，没那么烫人啊。之前出问题的时候，可是从中秋开始，那时候还热的要命。

作者: 苏州膜头 时间: 2011-10-26 19:06
还没搞定啊？？悲剧了，你要崩溃了。

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-10-27 08:29
我已经崩溃好久了。

作者: tfc 时间: 2011-10-27 17:22
看你发这么多贴，但我认为机器没有大问题，是有漏，但不到现场，不好下结论。建议你请专门修机器的人去帮你处理吧。或你说自己在那里，看周边有没镀膜的朋友兴趣去看看

作者: 苏州膜头 时间: 2011-10-27 18:11
说吧，哪里的？兄弟们给你看看？

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-10-28 09:17
谢谢大家了，我的公司在昆山。
因为公司管理制度很严的缘故，设备坏了都是必须层层申报，然后请专业维修公司维修，不能私下请人帮忙，所以只能谢谢大家的热心了。

目前机器暂时稳定下来了，暂时就一边用着看看了。不过从镀膜机出问题到现在重新稳定，根本原因一直没找到，现在怎么好了的，也是不知道，呵呵呵。。。

作者: wlinliu 时间: 2011-10-30 15:49
本帖最后由 wlinliu 于 2011-10-30 15:51 编辑

LZ向您致敬啊，坚持这么长时间

，不要老是看机器，真空计或离子规管换一个试试

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-10-31 09:22
谢谢，但真空计我也换过了个新的，没什么起色，所以应该与它无关。
中间都以为要彻底报废了，没想到又撑下来了，我也挺佩服这台老镀膜机的。呵呵。

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-10-31 09:22
本帖最后由 Jimmy_tang 于 2011-10-31 09:27 编辑

已经连续一周的性能没有变化。最后修理的位置，是放气阀。
重新反复装了放气阀几次，然后现在的每天的情况都基本一致。
每天早上第一次抽真空，真空度下降很慢，抽半小时后放气，重新开始抽，就正常了。

作者: ﹏ゝ﹏ゝ 时间: 2011-11-9 14:23
其实楼主可以抽真空室的真空看看保压有什么问题没。。没问题基本就是管道咯~~

作者: rexchenjj 时间: 2011-11-9 16:50
MMY 我们刚买一台南光的听LZ这么说我都怕怕了

作者: z1206l 时间: 2011-11-9 18:37
这么棘手？

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-11-10 08:31
短时间内是看不出真空度下降的情况。保压应该是没有问题的。
我们也猜测是管道或者阀门漏气，但是检测不到的。而且当天的后续抽真空又正常，所以感觉很难解释。
现在基本算是不瞎折腾了。我也算是喘口气了。

作者: 缘睐汝痴 时间: 2011-11-10 15:47

Jimmy_tang 发表于 2011-10-20 09:39
我晕死咧。这种问题都有。
不过我最受不了的就是，虽然我找不到问题所在，但只要我瞎折腾一趟到两趟，它 ...

这样的现象是和我们的机器一模一样的啊，感觉就是我们的机器，我们是05年南光800
天天出问题，抽空时好时坏，电子枪时好时坏，晶控时好时坏……

作者: 缘睐汝痴 时间: 2011-11-10 15:50

Jimmy_tang 发表于 2011-11-10 08:31
短时间内是看不出真空度下降的情况。保压应该是没有问题的。
我们也猜测是管道或者阀门漏气，但是检测不到 ...

楼主你好，请问你们说的保压会有什么问题呢，就说保压不稳定吧，真空度时高时低，这也只能说明是漏气啊，还可以说明什么呢

作者: 缘睐汝痴 时间: 2011-11-10 15:53

﹏ゝ﹏ゝ发表于 2011-11-9 14:23
其实楼主可以抽真空室的真空看看保压有什么问题没。。没问题基本就是管道咯~~

楼主，请教一下，你说的如果保压有问题，那就可以说明管道没有问题吗，为什么呢

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-11-10 16:50

缘睐汝痴发表于 2011-11-10 15:47
这样的现象是和我们的机器一模一样的啊，感觉就是我们的机器，我们是05年南光800
天天出问题，抽空时好时 ...

你的镀膜机这样子更像是电路板被老鼠咬了。。。
我现在的机子抽空是天天早上第一炮都是孬的，然后再抽过才是好的。
然后，我的晶控一直都是坏的。。。。

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-11-10 16:53

缘睐汝痴发表于 2011-11-10 15:50
楼主你好，请问你们说的保压会有什么问题呢，就说保压不稳定吧，真空度时高时低，这也只能说明是漏气啊， ...

他说的保压应该是抽空到高真空后，停止抽真空，看数值会不会有异常的变化吧？

作者: 缘睐汝痴 时间: 2011-11-10 18:38

Jimmy_tang 发表于 2011-11-10 16:53
他说的保压应该是抽空到高真空后，停止抽真空，看数值会不会有异常的变化吧？

恩这个还是不怎么好看出来的，尤其是小漏。关高阀后真空度本就会降低，可是不知道什么时候真空才能稳定，等真空稳定后真空度也很低了，能到-1Pa吧，此时真空都不灵敏了，小漏的话还是会出现很久都观察不出真空计的变化

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-11-11 08:42

缘睐汝痴发表于 2011-11-10 18:38
恩这个还是不怎么好看出来的，尤其是小漏。关高阀后真空度本就会降低，可是不知道什么时候真空才能稳定 ...

嗯，确实如此。只有比较严重的漏气才能通过这种方式看到。

作者: WENJINGREN 时间: 2011-11-12 15:37
你们是每天都关机吗？关机后多久关空压机。

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-11-15 15:56

WENJINGREN 发表于 2011-11-12 15:37
你们是每天都关机吗？关机后多久关空压机。

1小时。

作者: WENJINGREN 时间: 2011-11-15 16:43

Jimmy_tang 发表于 2011-11-15 15:56
1小时。

能将你们关机的程序描述一下吗

作者: cms8334426 时间: 2012-2-20 08:50
手动来抽，一步一步来，记录时间，对比，看下是不是阀门有漏气

作者: diaodiao315 时间: 2012-2-22 08:43
是不是气动阀门那里有内漏呢？那个气缸有时关紧了有时没关紧（气压不足），但是显示正常。。。。。拆了观察真空度变化看看

作者: wdydede 时间: 2012-5-11 00:45
深有体会，我是检查不出来的，我们的南光机和楼主的很像，现在也有这种问题

作者: 精诚光学 时间: 2012-5-27 13:24

现在好了吗？我的机器也是这样的，不过我知道原因，一下就搞定了，不知道你的和我的情况是不是一样，加我QQ：1443415201

作者: Jimmy_tang 时间: 2012-5-30 14:51

精诚光学发表于 2012-5-27 13:24
现在好了吗？我的机器也是这样的，不过我知道原因，一下就搞定了，不知道你的和我的情况是不是一样 ...

好了，莫名其妙就又好了。。。。个人猜测也许还是清洁度的缘故。我的QQ是241576438

作者: scorpions2004 时间: 2012-5-30 19:10
真空检有问题？
其实要是你们公司有安装RGA（气体成分检测），那什么问题就全知道了！！

作者: Jimmy_tang 时间: 2012-5-31 08:22

那太高级了。。。配俺的国产镀膜机很浪费，所以老板不买。
真羡慕你们的镀膜机啊，都武装到牙齿了。

作者: xvchuan 时间: 2012-5-31 15:40
我的经验是，如果你动这动那，真空忽好忽坏，那一定是没有找到真正的原因。如果找到原因，一下就应该搞定。真空镀固定在某个数值上，怎么抽也没用，时好时坏，那一定是漏气。我的机器就是这样，上次找半天找不到。结果发现是扩散泵观察窗玻璃漏气。换了密封条马上好了。你要查查是不是所有的可能的漏气点都查到了，有没有漏网之鱼。什么挡板、电极、晶振片水管等等都要查到。

作者: Jimmy_tang 时间: 2012-6-5 08:42

xvchuan 发表于 2012-5-31 15:40
我的经验是，如果你动这动那，真空忽好忽坏，那一定是没有找到真正的原因。如果找到原因，一下就应该搞定。 ...

嗯，是的。我那几个月几乎是给镀膜机全身都洗了次澡，但还是没找到。
镀膜机的症状并不是说抽真空抽不上去，而是抽真空的速度变得非常的慢。例如说原本到10^-2pa要15分钟，现在却要50分钟，但最终还是能抽的上去的。
但最终镀膜机又莫名其妙自己好了，是在对工转盘进行了一次维修之后。所以我想是否是因为一些缝隙处的灰尘碎屑等吸附大量的空气导致了抽真空的低效率？

作者: wdydede 时间: 2012-6-15 00:17
这种现象会不会是你的阀门有问题？例如放气阀？

作者: wdydede 时间: 2012-6-15 00:19
我们近期也是有问题，把放气阀换了就OK

作者: longefei 时间: 2012-6-16 00:10
会不会是 VGC403中参数设置有问题啊

作者: Jimmy_tang 时间: 2012-7-25 09:26
非常谢谢大家对这个问题的讨论，但我想最根本的原因，应该还是因为镀膜机使用年限过久，各个部位都或多或少老化的综合原因吧。机械泵老化，工转盘磨损，氧气接头磨损，阀门磨损，橡胶垫圈脆化，真空室内表面氧化变粗糙，真空室内死角堆积灰尘，机油老化速度加快，扩散泵油温不足，测量仪器出现偏差。。。都可能会出现抽真空速度变慢的情况。

作者: lkai1014 时间: 2012-7-25 11:43
靠以前我们也遇到类似的问题，把整个设备都拆了遍，各个阀门什么的，有次最高把扩散泵拆了差不多三遍，那可真累啊

最后实在是没办法了找了家设备维修公司用质谱仪检测才搞定的。这玩意也太折腾人了对楼主的遭遇也是身有体会的

作者: 霹靂貓 时间: 2012-12-17 14:19

作者: ouyuu 时间: 2012-12-17 16:26
本帖最后由 ouyuu 于 2012-12-17 16:28 编辑

Jimmy_tang 发表于 2011-10-21 09:13
因为这台镀膜机用了好多年的缘故，放气阀低阀高阀等密封圈都老化开裂了，但在更换新的密封圈后，也没有什么 ...

主阀气缸之类的也有可能。
脏的话不会时好时坏，一般都是活动部件才会这样。

作者: 超越 时间: 2012-12-18 14:23

作者: 高佑君 时间: 2012-12-21 14:04
受教了

作者: maiwudi 时间: 2013-4-2 21:12
楼主，你们有没有换了工转盘上面的直流慢速电机的密封圈，我公司的南光机就是因为这个密封圈磨损，导致漏气的。

作者: 飛兲寶赑 时间: 2013-4-2 21:35
保养不到位

作者: laoxianccc 时间: 2013-5-20 12:28
真空室底部或者侧面有没有问题啊，是不是高阀太脏了

作者: 拉比熊 时间: 2013-5-21 12:44

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