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标题: Veeco Mark II 离子源的一个问题？（希望大家能帮我支支招） [打印本页]

作者: E501559 时间: 2011-10-17 09:19
标题: Veeco Mark II 离子源的一个问题？（希望大家能帮我支支招）
用过Veeco Mark II 离子源的兄弟们应该会比较熟悉一些，问题是这样的如下：

我们在镀膜的时候，在不冲氧气的情况下，离子源各个参数OK，可是接下来问题就来了，在打开氧气冲氧气的时候，中和电流在发生变化，它随着真空度的变化而变化，也随着氧气冲入多少的变化而变化；困扰我的问题就在这，为什么中和电流会发生很大的异变，之前的话，不管真空度、氧气怎么变化，中和电流也不会发生变化的，求大家指点！

作者: fql3310 时间: 2011-10-18 06:29
打火?

作者: E501559 时间: 2011-10-18 08:49

fql3310 发表于 2011-10-18 06:29
打火?

打火？？？能否说得明白点！谢谢！

作者: JINFENG215107 时间: 2011-10-18 14:51
脏了或者里面短路

作者: E501559 时间: 2011-10-18 15:23

JINFENG215107 发表于 2011-10-18 14:51
脏了或者里面短路

我都检查过了，离子源里面、控制器里面都没有问题啊！

作者: fql3310 时间: 2011-10-19 04:17
接触不好.螺丝松了之类的事情.

作者: mfsw123 时间: 2011-10-19 06:12
路过学习

作者: WEI爱依旧 时间: 2012-1-11 23:38

作者: fql3310 时间: 2012-1-12 19:29
这个你还是请教一下中科院的老总，他们是专家．

作者: 想夜的雨 时间: 2012-1-12 21:05
充气管路漏气

作者: E501559 时间: 2012-1-16 08:32

想夜的雨发表于 2012-1-12 21:05
充气管路漏气

氧气还是氩气？

作者: dcjlcm 时间: 2012-1-16 14:17

作者: wlinliu 时间: 2012-1-30 00:01
充氧气是会出现波动比较大，氩气应该不会

作者: 神州八号 时间: 2012-2-8 09:08
多为接触不良

作者: Guoyl 时间: 2012-2-9 13:59
可以咨询我,你能解决的自己解决,不能解决的,就找我
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0769-81552706 东莞市长安镇锦厦管理区沙埔头路娃娃岛304

作者: xiao2011 时间: 2012-2-11 02:32

作者: 魅力薄膜 时间: 2012-8-24 02:38

作者: lkai1014 时间: 2012-8-24 07:56
学习

作者: 曲终人散 时间: 2012-8-24 10:39
气体分配板的问题

作者: Aaron-Lee 时间: 2012-9-4 14:14
學習..

作者: wuyongren031 时间: 2012-12-3 21:15
我认为充氧阀漏了，我也碰到过，或是你的氧气瓶在漏，这样进去压力或高或低，造成中和不稳定，造成离子源工作不稳定。

作者: ouyuu 时间: 2012-12-5 23:06
MARK II最早就是我做的啊。那时还是卡夫曼博士开的公司，后来卖给了VEECO。

你用的MARK II是空心阴极的源还是灯丝的（看描述像空心阴极的）
看起来像打火，估计是充氧导管没装好。
（充氧口到护板必须装导管，防止氧气进入护板和真空室壁之间）
空心阴极中和器只使用氩气，要注意纯度，最少5个9，
气瓶装好后开阀门之前要先将管路全部抽真空

作者: 相伴/sun天涯 时间: 2012-12-6 14:44

ouyuu 发表于 2012-12-5 23:06
MARK II最早就是我做的啊。那时还是卡夫曼博士开的公司，后来卖给了VEECO。

你用的MARK II是空心阴极的源 ...

MARK II空心阴极我们公司也有一台现在就不用了上次就是氩气不纯导致阴极烧掉，一个空心阴极要好几千块钱。现在都不用了，，这种空心阴极能不能改成灯丝的。、

作者: chao_li0622 时间: 2012-12-6 19:03
学习

作者: ouyuu 时间: 2012-12-6 23:01

相伴/sun天涯发表于 2012-12-6 14:44
MARK II空心阴极我们公司也有一台现在就不用了上次就是氩气不纯导致阴极烧掉，一个空心阴极要好几千块 ...

可以改灯丝的，不过要自己做个灯丝电源。

灯丝用1mm～2mm粗的钨丝，大概40cm左右长度。
灯丝电流大概是MARK II阳极电流乘以2，
（除了激发阳极离子，还需要多余的电子做中和作用）
可以直接利用空心阴极的线。

你空心阴极是大的还是小的，我手头倒还有几个大的空心阴极。
以前做服务的时候，那些外面卖几千几万的零部件手头存了很多。

作者: 相伴/sun天涯 时间: 2012-12-7 07:48

ouyuu 发表于 2012-12-6 23:01
可以改灯丝的，不过要自己做个灯丝电源。

灯丝用1mm～2mm粗的钨丝，大概40cm左右长度。

你会改吗？

、

作者: 霹靂貓 时间: 2012-12-17 14:09

沒錯~我也遇到过是"气体分配板的问题"換一个就会好滴....

作者: ouyuu 时间: 2012-12-17 16:19

相伴/sun天涯发表于 2012-12-7 07:48
你会改吗？

会，国内最早做MARK II的就是香港的KJ.TANG和我。
以前也改过。但是只敢在自己的机器上做，
因为要在MARK II上钻孔，不小心打漏水了就完蛋了。
赔不起。

作者: 相伴/sun天涯 时间: 2012-12-17 16:40

ouyuu 发表于 2012-12-17 16:19
会，国内最早做MARK II的就是香港的KJ.TANG和我。
以前也改过。但是只敢在自己的机器上做，
因为要在MA ...

可以留一个联系方式吗

作者: ouyuu 时间: 2012-12-17 22:38
有问题直接在这里说吧。我比较不喜欢被打扰，因为事情实在太多。

作者: ghtzna 时间: 2012-12-19 09:17
一般没装好才会有不稳定状况但是不会随着真空变化啊检查下气体的纯度

作者: Ion.source 时间: 2013-11-18 21:33
只有氩气时离子源工作正常,空心阴极应该没有问题,它的不稳定应该是离子源那边的影响,加入氧气变的不稳定,可能是由于氧气比氩气不容易电离,所以离子源应该的工作在一个临界状态,注意离子源这边的清洁,表面要保证良好的导电性,磁铁是否有些消磁,还有很重要的一点,真空室要保证良好的接地.

本人从事离子源工作多年,提供所有Mark系列离子源的零配件,交货快,质量保证,以下为联系方式:
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