光电工程师社区

标题: 薄膜设计与短波光控 [打印本页]

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-10-25 13:19
标题: 薄膜设计与短波光控
刚才在a99533126提供的资料里看到AR膜的设计是0.25H0.25L2HL，这个设计倒是很像我现在用的，但是如果真的按照这个数值，软件上显示的反射率曲线还是太高了。优化后的偏差还是比较大的。例如会变成0.45H0.24L1.78H1.08L。使用光控应该如何控制呢？
但很奇怪的，工艺上确实使用了单个监控波长就搞定了。谁能告诉我为什么啊？

作者: fql3310 时间: 2011-10-25 13:24
走定值，不是走极值。

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-10-25 13:33
光控怎么走定值呢？

我的工艺确实是走极值的，但我不知道和开始的设定值是否有关。

作者: yuvia_ye 时间: 2011-11-18 14:46
走极值定位会准确吗？

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-11-18 16:04
常常不准，需要根据经验调节提前量的。

作者: 缘睐汝痴 时间: 2011-11-18 18:46

作者: 吥哙放弃、、 时间: 2011-11-19 09:36

作者: xyzrgbhis 时间: 2011-11-19 15:25
顶

作者: xiao2011 时间: 2011-11-19 18:15

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-11-21 09:16

你们这些海狮党。。。偶尔也给点建议啊，别只是顶顶顶的。

作者: xiaojiang007 时间: 2011-12-16 19:46

Jimmy_tang 发表于 2011-11-18 16:04
常常不准，需要根据经验调节提前量的。

朋友你好我的也是用的国产的光控现在也不是很了解你说的根据经验调节提前量是什么意思啊谢了

作者: xiaojiang007 时间: 2011-12-16 19:48

fql3310 发表于 2011-10-25 13:24
走定值，不是走极值。

朋友你好你说的走定值和走级值有什么不同呢麻烦解答下可以吗我新手

作者: likeoe 时间: 2011-12-18 07:35
我建议你找些光学薄膜的书看看，方法比结果更重要，你提的那些问题只要知道了原理都很简单的。

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-12-19 10:55

xiaojiang007 发表于 2011-12-16 19:46
朋友你好我的也是用的国产的光控现在也不是很了解你说的根据经验调节提前量是什么意思啊谢了 ...

提前量只能是对镀膜曲线进行微调罢了。例如说发现设计出的曲线比实际曲线略长20-30nm的时候，实际镀膜的时候可以适当的提前结束。

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-12-19 10:58

likeoe 发表于 2011-12-18 07:35
我建议你找些光学薄膜的书看看，方法比结果更重要，你提的那些问题只要知道了原理都很简单的。

能推荐一下吗？我现在苦于没有工艺方面的指导。

作者: likeoe 时间: 2011-12-19 22:05
你在当当网上查“光学薄膜技术”，会查到“现代光学薄膜技术”唐晋发，还有“光学薄膜技术”卢进军，前者比较系统，后者比较基础，入门还是可以的。

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-12-20 09:16

likeoe 发表于 2011-12-19 22:05
你在当当网上查“光学薄膜技术”，会查到“现代光学薄膜技术”唐晋发，还有“光学薄膜技术”卢进军，前者比 ...

非常感谢！

作者: ysc730603 时间: 2011-12-23 20:17
走定值是不可能的，因为每个光控片的走值是不一样的

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-12-26 09:59

ysc730603 发表于 2011-12-23 20:17
走定值是不可能的，因为每个光控片的走值是不一样的

我最近做了个实验，是测量连续2炉镀膜时，同样定值情况下的镀膜偏差。我的镀膜机最近的偏差很大，已经达到需要人为纠偏的程度了。
几年以前，走定值的时候，曲线的偏差在10-20nm左右。现在有时则会达到50nm。估计是镀膜机老化了吧。

作者: dzhhao 时间: 2011-12-26 11:36
定值法要求材料的N必须灰常准确。

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-12-26 11:51

dzhhao 发表于 2011-12-26 11:36
定值法要求材料的N必须灰常准确。

这个难啊。我测量了，连续2炉，N会变化的。

作者: z1206l 时间: 2011-12-26 12:46
不是很明白你说的问题

你用的是什么型号的光控啊？

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-12-26 13:55
一般的光控，额，我还真没注意过型号，哈哈。国产的镀膜机能配啥好的光控啊

作者: 缘睐汝痴 时间: 2011-12-26 14:14

Jimmy_tang 发表于 2011-12-19 10:55
提前量只能是对镀膜曲线进行微调罢了。例如说发现设计出的曲线比实际曲线略长20-30nm的时候，实际镀膜的时 ...

可以适当调整监控波长吗，把监控波长减小或者增加呢

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-12-26 14:53

缘睐汝痴发表于 2011-12-26 14:14
可以适当调整监控波长吗，把监控波长减小或者增加呢

试过了，但一样的难以控制，还不如对最后一层进行微调的好。调整提前量，曲线的变化比较容易控制一些。

作者: laoxianccc 时间: 2011-12-26 22:24

作者: 缘睐汝痴 时间: 2011-12-27 16:21

Jimmy_tang 发表于 2011-12-26 14:53
试过了，但一样的难以控制，还不如对最后一层进行微调的好。调整提前量，曲线的变化比较容易控制一些。

恩。能够找到规律就好了。如果你的曲线需要调整其他层数的现在能够很好的控制了吗？

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-12-27 16:38
不能。。。我想应该是我tooling值的计算还是不正确的缘故。
我之前说过的，我根据曲线计算出的数值，却和曲线自己不吻合。这肯定有问题的。

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