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标题: 镀膜速率、功率、膜厚、Tooling之间的关系？ [打印本页]

作者: E501559 时间: 2011-11-1 10:48
标题: 镀膜速率、功率、膜厚、Tooling之间的关系？
求解：镀膜速率、功率、膜厚、Tooling之间的关系？怎么来理解它们之间的关系？

作者: 缘睐汝痴 时间: 2011-11-1 13:02
这个太困难了，只知道它们都会影响，不知道怎么影响了

作者: E501559 时间: 2011-11-1 15:07

缘睐汝痴发表于 2011-11-1 13:02
这个太困难了，只知道它们都会影响，不知道怎么影响了

但可以确定的是Tooling的大小直接影响膜厚。

作者: 缘睐汝痴 时间: 2011-11-2 11:36

E501559 发表于 2011-11-1 15:07
但可以确定的是Tooling的大小直接影响膜厚。

对，这是肯定的

作者: xiao2011 时间: 2011-11-2 15:31

作者: xiazg 时间: 2011-11-3 15:11
晶振片晶振探头销售 qq1046118891

作者: cxm05371 时间: 2011-11-12 14:03

作者: WEI爱依旧 时间: 2012-1-11 23:08

作者: 272813953 时间: 2012-1-11 23:42

作者: 想夜的雨 时间: 2012-1-12 21:20
因为现在大多数是PID控制，所以功率，与速率有直接正比关系，但是速率还与一个因素有关，就是光斑，直接决定速率。TOOLING值是一个比值，看他的是大于100%，还是小于100%，就知道挡板的是否恰当了

作者: E501559 时间: 2012-1-16 08:30

想夜的雨发表于 2012-1-12 21:20
因为现在大多数是PID控制，所以功率，与速率有直接正比关系，但是速率还与一个因素有关，就是光斑，直接决定 ...

谢谢！

作者: riy2000 时间: 2012-1-16 10:09
路过。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。

作者: jionboy 时间: 2012-1-16 12:44
光斑固定，速率大小决定功率大小，Tooling决定实际厚度

作者: E501559 时间: 2012-1-16 16:31

jionboy 发表于 2012-1-16 12:44
光斑固定，速率大小决定功率大小，Tooling决定实际厚度

蒸发舟使用的次数不一样，影响功率的大小，但是不影响速率，试问可不可以单独控制功率，因为功率影响温度，所以我想功率相对小点，镀膜温度就低一点。

作者: wallymoon 时间: 2012-1-20 14:40

虽然没看到啥，但是还是很不错

作者: 心静 时间: 2012-4-10 12:36

作者: gxfdllg 时间: 2012-4-13 08:29

作者: idandie 时间: 2012-4-15 21:30
路过学习学习，是个好习惯

作者: fucheng01111 时间: 2012-4-22 15:14

作者: hackersc 时间: 2012-4-22 15:39

想夜的雨发表于 2012-1-12 21:20
因为现在大多数是PID控制，所以功率，与速率有直接正比关系，但是速率还与一个因素有关，就是光斑，直接决定 ...

请教下您，那我tooling值大于100%算是挡板过小，那么tooling值小于100% 算是挡板过大么？
貌似不能直接这么理解吧？
关挡板时机是晶振计算已经达到目标值厚度，然后就发出关挡板的指令，就算这样，也不能是挡板过小造成的tooling值小于100%吧？
难不成是这么理解，关闭挡板时刻，仍然有些膜料在往上面蒸镀，那么这个时候晶振就要采用预算的方式，提前一段时间关闭挡板，那么就可以用预算的时间来解释tooling值，大于或者小于100%，但是还是不能解释挡板的过大吧？

作者: xxywind 时间: 2012-4-22 19:49
有详细的解释没？

作者: 貢丸 时间: 2012-12-28 23:57

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