光电工程师社区

标题: 溅射工艺 [打印本页]

作者: zhong8888 时间: 2011-11-2 13:32
标题: 溅射工艺
溅射工艺是以一定能量的粒子（离子或中性原子、分子）轰击固体表面，使固体近表面的原子或分子获得足够大的能量而最终逸出固体表面的工艺。溅射只能在一定的真空状态下进行。...

欢迎光临光电工程师社区 (http://bbs.oecr.com/)