光电工程师社区
标题:
磁控溅射镀膜
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作者:
zhong8888
时间:
2011-11-2 13:37
标题:
磁控溅射镀膜
是将涂层材料做为靶阴极,利用氩离子轰击靶材,产生阴极溅射,把靶材原子溅射到工件上形成沉积层的一种镀膜技术,涂层材料一直保持固态,不形成熔池...
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