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标题: [求助]鍍膜后出現霧面﹐該如何解決 [打印本页]

作者: 夏天雨 时间: 2004-8-19 00:34
标题: [求助]鍍膜后出現霧面﹐該如何解決

請問﹐鍍膜后晶片會出現霧面﹐該怎么解決﹖

開始以為是沒有清洗干淨﹐后來試驗清洗完畢后﹐立馬開始鍍﹐結果還是一樣﹖

作者: 冥界的蝎子 时间: 2004-8-19 00:54
你是操作人员吗？？

作者: chz321 时间: 2004-8-19 06:35
会不会是潮解了，或是温度太高了，试试降低温度看看，

作者: 夏天雨 时间: 2004-8-19 21:53
謝謝樓上的意見﹐可是試過之后還是有霧面產生。

作者: zz 时间: 2004-8-20 00:34
啥基片？镀啥膜？

作者: nittohai 时间: 2004-8-21 18:25
真空度多少？

作者: dzhhao 时间: 2004-8-25 23:01
如果是比较软的基底，加热温度不要太高！比如方解石，云母等。可以采用逐渐冷却的方法。比如设定5度/分钟

作者: xiaohe 时间: 2004-9-10 23:46

试用冷镀的方法，应该能解决问题，热镀转冷镀真空室加配深冷设备就行了，不用加热那么高的温度了，还可以捕集扩散泵的返油．实施看吧．交流０５５１５３２９１９５何

作者: dar 时间: 2004-11-10 01:23
没错,降低镀膜时的温度就好啦…………

作者: snebur 时间: 2005-1-17 22:28
镀的什莫材料？在什莫类型的基片上！蒸镀条件是什莫？请讲清楚以便分析原因！！！！

作者: xiaohe 时间: 2005-4-21 22:50
冷镀和热镀的区别在于加热温度,有些基材必须用冷镀因为不可以加热,而可热镀的材料就可冷镀,加热的最大目的主要是去处表面吸附的成分,而冷镀时也可加热,同时低温捕集也能达到效果.

作者: snebur 时间: 2005-4-22 06:07
从如下几方面考虑：envaporation rate，vacuum pressure， heater temperature，strengthen Ion soure n

作者: zjtzzy 时间: 2005-4-23 00:09
which material do you use?

作者: feiying 时间: 2005-4-25 00:50
你加工的零件是什么硝材？镀膜材料是什么？镀膜之前清洗吗？

作者: yzhuang 时间: 2005-9-18 06:27
起雾应是散射,你用的高折射率材料是不是TIO2?那样的话降低温度可能会减少或消除起雾,但降温会导致吸收,在镀完后要做一个处理.

作者: jipeng 时间: 2005-9-20 07:30
请问楼上贵宾你镀完后做一个什么处理?我镀锆也出现这种现象真是想破脑袋

作者: zz 时间: 2005-9-20 22:55
加热处理//////////////////////////////////

作者: 王李 时间: 2005-9-21 01:40
如果是晶体，可能存在各向异性造成的

作者: zz 时间: 2005-9-21 15:48
雾面其实有好几种形式,解决起来确实头疼

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