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标题: 大家帮忙分析下是什么问题 [打印本页]

作者: JangSin 时间: 2011-11-14 07:53
标题: 大家帮忙分析下是什么问题
设备是韩国的。
粗抽的话没有问题，一般3分钟左右能抽到5.0*10-2 Torr，高阀打开。高阀打开后也能顺利的抽真空，但是抽到5.0*10-5torr时，开始抽不动了，真空表的数值开始上下跳动，不稳定。没有发现有漏气的地方，扩散泵的油是新换的。镀膜室也清扫了。各位帮帮忙，分析下是什么问题。小弟在线等

作者: WENJINGREN 时间: 2011-11-14 14:13
还是有漏气的地方

作者: 272813953 时间: 2011-11-14 23:35
你看看机器泵油是不是少了或镀膜机门的胶圈有没有问题啊

作者: cxm05371 时间: 2011-11-16 13:00
有漏气检查密封圈

作者: xiao2011 时间: 2011-11-19 18:36

作者: xiaozhou 时间: 2011-11-24 14:55
扩散泵的抽真空能力怎样？可以先看看

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-11-24 15:25
5.0*10-5torr已经不错了。。。我的机子还抽不到10-4torr量级呢。

作者: xiao2011 时间: 2011-11-24 17:12

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