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标题: 关于坩埚漏水问题 [打印本页]

作者: 良哥 时间: 2011-11-30 13:23
标题: 关于坩埚漏水问题
南光机坩埚漏水了，换了新的密封圈还是漏水，大家知道还有什么问题吗？

作者: xiazg 时间: 2011-11-30 13:45
顶一个晶振片制造专家 15068338773 Q1046118891 提供晶振片及晶振片知识咨询

作者: cgzsad0432 时间: 2011-11-30 14:33
描述得不够清楚，，你是怎么确定坩埚那里漏水的？？有没有可能是冷却水管的接头处漏水，或者枪头的冷却水漏水

作者: yibi11 时间: 2011-11-30 17:20
本帖最后由 yibi11 于 2011-11-30 17:20 编辑

你是指。。。真空室里？还是真空室下面。以前渐冷式坩埚我倒是遇到过真空室内漏水，除了更换垫圈之外，得确保安装的正确性，特别是坩埚本身的进水出水口，千万不能搞错，否则冷却不好，再下一次镀膜的时候会很快烧坏你换上的垫圈导致再次漏水

作者: 三月 时间: 2011-11-30 17:56

作者: xiao2011 时间: 2011-11-30 19:15

作者: 272813953 时间: 2011-11-30 23:08
是不是你的密闭圈没放好啊,或者坩埚转盘给电子枪打穿了个小洞啊

作者: 243667046 时间: 2011-12-1 13:47
要正确的的找出漏水点

作者: 良哥 时间: 2011-12-2 11:04

243667046 发表于 2011-12-1 13:47
要正确的的找出漏水点

您说的对

作者: 良哥 时间: 2011-12-2 11:27

cgzsad0432 发表于 2011-11-30 14:33
描述得不够清楚，，你是怎么确定坩埚那里漏水的？？有没有可能是冷却水管的接头处漏水，或者枪头的冷却水漏 ...

因为我把它拆开了，我又换了几个密封圈，上下都换了。结果好像不漏了，先用着看看

作者: 良哥 时间: 2011-12-2 11:29

272813953 发表于 2011-11-30 23:08
是不是你的密闭圈没放好啊,或者坩埚转盘给电子枪打穿了个小洞啊

应该是

作者: 良哥 时间: 2011-12-2 11:36

yibi11 发表于 2011-11-30 17:20
你是指。。。真空室里？还是真空室下面。以前渐冷式坩埚我倒是遇到过真空室内漏水，除了更换垫圈之外，得确 ...

谢谢

作者: 272813953 时间: 2011-12-2 22:12
弄好了没啊????

作者: 272813953 时间: 2011-12-4 16:28
找到那里滴水没啊？？？？还是弄好了啊？？？

作者: E501559 时间: 2011-12-5 08:36
漏水很简单嘛，不外乎就是密封圈啦，坩埚穿孔不太可能会出现的啦

作者: JZNT 时间: 2011-12-10 15:30

作者: zhangking 时间: 2011-12-12 21:39
还有可能,就是坩埚的转杆上面有砂眼,很难找出来的漏点

作者: 良哥 时间: 2011-12-14 18:40

zhangking 发表于 2011-12-12 21:39
还有可能,就是坩埚的转杆上面有砂眼,很难找出来的漏点

嗯，是啊，呵呵

作者: gxfdllg 时间: 2012-3-24 18:01

作者: 诸葛流星 时间: 2012-8-9 13:12
这个也问，想办法堵漏啰

作者: 良哥 时间: 2012-8-9 20:11

诸葛流星发表于 2012-8-9 13:12
这个也问，想办法堵漏啰

有道理，呵呵

作者: lkai1014 时间: 2012-8-13 13:03

诸葛流星发表于 2012-8-9 13:12
这个也问，想办法堵漏啰

直接换套新坩埚也成哈

作者: LOUYC 时间: 2013-7-23 15:06

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