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标题: 有谁知道蓝宝石衬底上参考边的作用？ [打印本页]

作者: mumu4273 时间: 2011-11-30 15:44
标题: 有谁知道蓝宝石衬底上参考边的作用？
想知道蓝宝石衬底上参考边（primary flat）的作用，谁知道啊？

作者: lxg8019 时间: 2011-12-1 13:38
觉得应该是晶片的晶向的定位标志吧，同请大虾指点

作者: hikaru1984 时间: 2011-12-1 15:30
听说是配合MOCVD机台用的

作者: 俢囉゜° 时间: 2011-12-2 12:48
主平边的方向是用X射线产生一个laue相片来寻找，用以确定晶格方向，
细节：
处理的设备：X－ray绕射仪，磨床
为什么要留这个平边：
因为晶体的结构不是二维的而是三维的，而晶格方向对组件制作有三种影响，(1)晶圆裂片(2)磊晶层的方向沉积3)表面状态电荷的密度
所以必须要留个边，叫参考面，也叫主平边（OF），是芯片切割时用来对准用的，自动理片设备(裂片机)利用主平边来完成正确的对准。

作者: mumu4273 时间: 2011-12-2 20:55

俢囉゜° 发表于 2011-12-2 12:48
主平边的方向是用X射线产生一个laue相片来寻找，用以确定晶格方向，
细节：
处理的设备：X－ray绕射仪，磨 ...

有详细资料吗，我想把这点搞清楚点

作者: lxg8019 时间: 2011-12-4 20:01
谢谢3、4楼的兄弟

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