
平移运动台(X-Y-Z轴) | |
构成主件 | Newport VP-25XA或VP-25XL |
最大行程(mm) | XYZ: 25mm |
分辨率(μm) | 0.1 (VP-25XA), 0.05 (VP-25XL) |
双向重复性(μm) | 0.15 |
同轴准确度(μm) | 1 |
最高速度(mm/s) | 25 |
旋转(PitchθX-YawθY-RollθZ轴) | |
构成主件 | Newport CMA-PP或TRA-PPD |
最大行程(mm) | θX:6mm, θY:6mm, θZ:12mm |
分辨率(μm) | 0.3 (CMA-PP), 0.1 (TRA-PPDL) |
材质 | 不锈钢/铝合金 |
最高速度(mm/s) | 0.4 |
夹具 | |
(专利申请中)通用光纤阵列(FA)夹具<配有接触传感器> × 2 | |
接触传感器精度 < 2μm | |
(专利申请中)通用1×N Splitter夹具(1×2到1×64适用)× 1 | |
真空吸附AWG夹具 × 1 | |
机械视觉 | |
摄像头 | CCD×2, IR Cam×1 (初始光搜寻) |
照明 | LED Bar Light(软件调控) |
机械视觉 | 视频采集卡 |
分辨率 | <3μm/像素(取决于镜头倍数) |
运动平台 | 100mm(可根据需要修改)马达行程6或13mm手动XY平台(微调) |
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