
平移运动台(X-Y-Z轴) | |
构成主件 | Newport 562 ULTRAlignTM Precision Multi-Axis Positioning System |
最大行程(mm) | XYZ: 13mm (X, Z可选25mm) |
分辨率(μm) | SM-13 (0.5); DM-13 (0.05) |
负载(N) | 156 |
材质 | 全不锈钢 |
旋转(PitchθX-YawθY-RollθZ轴) | |
构成主件 | NP-YP1 (Pitch-Yaw); NP-R1 (Roll) |
最大行程(mm) | θX:6mm, θY:6mm, θZ:12mm (±3°) |
分辨率(μm) | NP-YP1 (0.01°), NP-R1 (0.0004°) |
材质 | 不锈钢/铝合金 |
夹具 | |
(专利申请中)通用光纤阵列(FA)夹具 × 2 | |
(专利申请中)通用1×N Splitter夹具(1×2到1×64适用)× 1 | |
机械视觉 | |
摄像头 | CCD×3(初始光搜寻) |
照明 | LED Bar Light(上方、侧方) |
运动平台 | 100mm(可根据需要修改) 6或13mm手动XY平台(微调) |
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