光电工程师社区

标题: 镀膜发现膜料的折射率似乎有变化 [打印本页]

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-12-8 15:47
标题: 镀膜发现膜料的折射率似乎有变化
最近镀膜，每次镀出来的镀膜曲线总有一些变化，在TFC上反复模拟后发现好像材料的折射率上升了？
有没有可能是充氧量减少或者是离子源输出降低了呢？不过从仪表读数上看，充氧量没有降低啊。

作者: xiao2011 时间: 2011-12-9 08:43

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-12-9 11:38
真晕啊，连续镀膜的话，每镀一次膜，曲线就向长波长方向移动一点。是充氧问题？还是离子源问题？还是我的光控出问题了？

作者: bluewhale0576 时间: 2011-12-9 13:52
真空度随防换板变脏会变化的，折射率小了当然向长波移动

作者: zjtzzw 时间: 2011-12-10 16:21
主要是受镀膜真空影响，这种情况一般都很有规律，总结一下每罩的偏移量，每次换板后回调就好了。

作者: likeoe 时间: 2011-12-11 14:45
真空室内越脏，吸附的水气就会越多，在镀膜时的放气量就会越多，致密度就会低，波长就会往长波方向移，到最后连形状都会跟着变的。

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-12-13 11:43
谢谢楼上的几位的建议。
我每天早上开镀前会做一次烘烤，然后再开始镀膜，之后似乎每一炉都会使得曲线向长波长方向移动，然后第二天再次镀膜的时候曲线又会回来一些。但总体比以前长了。
因为我每天都在检测室内湿度，上周的空气湿度因为有时下雨，室内在30%到50%之间变化，室外（镀膜机的放气孔在非洁净区域，基本与外界畅通）的湿度要更高一些。
这周看起来不会下雨，我会对tooling值做重新测量和计算，看看是否和镀的次数有关，以及是否和室外湿度有关。

作者: 神州八号 时间: 2011-12-13 14:38

作者: wazxq 时间: 2011-12-13 16:17
离子能量足够强时候，这些变化就没有了

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-12-13 16:26
是说离子源强度不足对吗？
离子源强度会不会有过大导致不良后果的？如果没有，我就可劲的加了。

作者: 缘睐汝痴 时间: 2011-12-14 11:29
继续关注中，我们也有这样的问题，这个问题恐怕大家都会遇到吧

作者: 心静 时间: 2012-4-10 12:37

作者: yaoting111 时间: 2012-4-10 20:02
楼上的
能否告知TOOLING值是如何计算的？
谢啦！！

作者: wdydede 时间: 2012-5-12 00:13
关注中，我们也有这样的问题，

作者: 魅力薄膜 时间: 2012-8-8 01:10
离子源强了，你还能镀的上去膜吗而且你的离子源中和的好吗。。。不好的话，还是慢慢加做实验吧。
而且也不一定要改工具因子，差不多达到要求就行了

作者: lkai1014 时间: 2012-8-14 16:52
多多学习

作者: wdydede 时间: 2012-8-28 00:48
这种变化到底是低了，还是高了（折射率）？按照大家的说法折射率变低，光学厚度不变的话则几何厚度增加，则长移（光控），如果是晶控的话，会往短波方向移吗？

作者: royyang 时间: 2013-10-7 09:22
关注中

作者: huangdengpin 时间: 2013-11-15 04:47

作者: huangdengpin 时间: 2013-11-15 04:48

作者: crl0129 时间: 2013-11-30 13:35
不漂移就不正常了！！！恐怕没人敢说他们的设备，从第一炉到最后一炉没有一点变化的吧！！

作者: leehow534 时间: 2014-5-27 23:59
我也碰到了，我们的图形忽上忽下，忽宽忽窄，烦死了，不知道什么原因呢

作者: 宇宙深处 时间: 2014-5-30 16:23
楼主所描述的现象有很强的规律性，这就说明有一个稳定的变量存在，这是有利于问题分析的。
根据楼主的描述应该是个正常的现象，机台被镀物越厚吸水性越强。一炉比一炉的工作真空就会更差。（建议楼主记录每一层的起镀，停镀真空作对比。看看是不是逸气量递增，如果是并且较严重，楼主就要考虑保养机台了）。一些愚见请见谅！

作者: carpty 时间: 2014-6-18 16:14

宇宙深处发表于 2014-5-30 16:23
楼主所描述的现象有很强的规律性，这就说明有一个稳定的变量存在，这是有利于问题分析的。
根据楼主的描述 ...

同意楼上的说法

作者: pc030319 时间: 2014-6-18 21:23
离子源强度加大的话折射率一般都会增加的，不能乱加

作者: MYMAILZHUJIN 时间: 2016-6-8 02:08
离子源太强，也是不好的

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