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标题: 离子源与镀膜 [打印本页]

作者: 追风男子 时间: 2011-12-14 02:12
标题: 离子源与镀膜
我厂新进了一批现代蓝光镀膜机与之配套的是中科九章离子源
没有离子源的时候总觉得膜层不牢 .
有了离子源后总觉得用了离子源后膜色不均匀
与投气量有关 ?
与离子源摆放位置有关 ?
如果投氩气气量因该多少为好呢 ? <SCCM>
不用氩气只投氧气又该定位多少为好呢 ?

作者: 追风男子 时间: 2011-12-14 02:28
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作者: 追风男子 时间: 2011-12-14 02:28
上传错了...

作者: 追风男子 时间: 2011-12-14 02:29
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作者: E501559 时间: 2011-12-14 08:37
氩气充多少、离子源的在真空室内安装的位置和离子源角度是很重要的.
你们那个中科九章的离子源说明书上没有设定要求的吗？

作者: 缘睐汝痴 时间: 2011-12-14 11:21
关注中……

作者: fql3310 时间: 2011-12-14 11:26
还是仿照APS源吧,下用氩气,上用氧气.这样阴极的钨丝不易氧化.充氩气选好流量让离子源能稳定工作,然后再加氧气管加氧气.

作者: jiayuch 时间: 2011-12-14 11:28
调了均匀性了？镀膜过程中离子源稳定吗？

作者: 追风男子 时间: 2011-12-14 15:11

E501559 发表于 2011-12-14 08:37
氩气充多少、离子源的在真空室内安装的位置和离子源角度是很重要的.
你们那个中科九章的离子源说明书上没 ...

严重怀疑每次来的都是销售人员对于技术方面貌似不是很了解摆放位置还在调试中 ....

作者: 追风男子 时间: 2011-12-14 15:13

fql3310 发表于 2011-12-14 11:26
还是仿照APS源吧,下用氩气,上用氧气.这样阴极的钨丝不易氧化.充氩气选好流量让离子源能稳定工作,然后再加氧 ...

现在基本上能稳定工作充气量不能太多阴极钨丝易氧化定期清理离子源的情况下还是能稳定工作的就是膜色不均匀 ..

作者: 良哥 时间: 2011-12-14 18:52
此离子源阳极电流是不有时候加不起来，清洁一下会好点

作者: 良哥 时间: 2011-12-14 18:53
直接把“碗口”对准晶振探头就可以吧

作者: 神州八号 时间: 2011-12-14 19:17
可参考韩一真空镀膜机

作者: killjackson 时间: 2011-12-15 11:09
可以不充氩气，只充氧就行了

均匀性在你定好离子源角度后重修修正板。

作者: z1206l 时间: 2011-12-26 12:50
1 离子源本身的均匀性范围是多少，比如它能覆盖多大的半径？
2 修正档板调了没有?
3 离子源角度调了没有？

另外，理论上讲，离子源的任何参数变动后，都会影响到其均匀性。得重新调整修正档板。

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