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标题: 光控的tooling [打印本页]

作者: xiaojiang007 时间: 2011-12-15 21:34
标题: 光控的tooling
如题光控的 tooling 是什么 ?望大家给予解答谢了

作者: 272813953 时间: 2011-12-15 22:10
学习中

作者: buaa_dsw 时间: 2011-12-15 23:18
光控tooling概念存在于间接光控型的镀膜机（直接光控就是1了），定义为：监控片上薄膜的光学厚度/实际样片上薄膜的光学厚度

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-12-16 15:59
我测量过监控片上薄膜的光学厚度，监控片上薄膜的光学厚度与设计值也并不相同。不过3楼说的我得赶紧去测试一下。我还没有同时测量过两种情况，原来准备过几周再测量的。

作者: 逐梦者 时间: 2011-12-16 17:32

还是不太懂

作者: xiaojiang007 时间: 2011-12-16 19:19

buaa_dsw 发表于 2011-12-15 23:18
光控tooling概念存在于间接光控型的镀膜机（直接光控就是1了），定义为：监控片上薄膜的光学厚度/实际样片上 ...

谢谢朋友的回答有点不理解何为直接和间接光控呢 ?以及监控片上的光学厚度怎么求实际样片的又指的是什么是指的我镀完的镜片吗 ?

作者: 缘睐汝痴 时间: 2011-12-19 21:35

Jimmy_tang 发表于 2011-12-16 15:59
我测量过监控片上薄膜的光学厚度，监控片上薄膜的光学厚度与设计值也并不相同。不过3楼说的我得赶紧去测试一 ...

怎么测量出光学厚度的呢，是测光谱曲线然后计算出来的还是就是直接用仪器测量出来的呢

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-12-20 09:19

缘睐汝痴发表于 2011-12-19 21:35
怎么测量出光学厚度的呢，是测光谱曲线然后计算出来的还是就是直接用仪器测量出来的呢

我是测光谱曲线，然后算出极值点处的折射率。
能测量厚度的仪器我好想要啊。。。

作者: filmokay 时间: 2011-12-20 10:21

Jimmy_tang 发表于 2011-12-20 09:19
我是测光谱曲线，然后算出极值点处的折射率。
能测量厚度的仪器我好想要啊。。。

你的做法是正确的啊。直接测试厚度的仪器如台阶仪得到的是物理厚度，光学厚度都是通过光谱进行计算的啊。

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-12-20 11:19

filmokay 发表于 2011-12-20 10:21
你的做法是正确的啊。直接测试厚度的仪器如台阶仪得到的是物理厚度，光学厚度都是通过光谱进行计算的啊。

谢谢你的确认。
不过，为什么我计算出折射率后，再用TFC依照此折射率做出曲线，曲线与实际曲线却有tooling偏差呢。
理解上有点扭不过弯来，突然有点不敢肯定。
按照曲线算出数值，再用数值模拟出曲线，此曲线与彼曲线却有个偏差。。。这是tooling值偏差吗？还是我算岔了？

作者: 缘睐汝痴 时间: 2011-12-20 14:27

Jimmy_tang 发表于 2011-12-20 11:19
谢谢你的确认。
不过，为什么我计算出折射率后，再用TFC依照此折射率做出曲线，曲线与实际曲线 ...

这个偏差我认为是正常的，这样的偏差也更好解决。实际和模拟曲线晶控监控总是会有误差的，即使你的TOOLING找的再准，也还是会有小小的偏差，只要掌握这种偏差的值就可以基本完全解决问题了

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-12-20 15:03

缘睐汝痴发表于 2011-12-20 14:27
这个偏差我认为是正常的，这样的偏差也更好解决。实际和模拟曲线晶控监控总是会有误差的，即使你的TOOLIN ...

我这个偏差通常是0.8啊。上周工转盘坏了，修完后，发现曲线异常，算了一下后，吓了一跳，膜的折射率高了很多，不过，这周再次测量，发现膜的折射率又低了不少，比原来的还低了。。。

瀑布汗啊。

作者: 缘睐汝痴 时间: 2011-12-20 16:46

Jimmy_tang 发表于 2011-12-20 15:03
我这个偏差通常是0.8啊。上周工转盘坏了，修完后，发现曲线异常，算了一下后，吓了一跳，膜的折射率高了很 ...

O(∩_∩)O哈哈哈
你这个问题我前段时间也遇到了，也是异常几天。晶控的小问题真的很多的。你的那个0.8的偏差是有点大哈，不过只要把握好规律就可以了。

作者: opfans696 时间: 2012-1-26 21:01

Jimmy_tang 发表于 2011-12-20 11:19
谢谢你的确认。
不过，为什么我计算出折射率后，再用TFC依照此折射率做出曲线，曲线与实际曲线 ...

你算折射率是不是手算的，应该是折射率的色散导致的。

作者: xiaojiang007 时间: 2012-8-3 09:39

buaa_dsw 发表于 2011-12-15 23:18
光控tooling概念存在于间接光控型的镀膜机（直接光控就是1了），定义为：监控片上薄膜的光学厚度/实际样片上 ...

朋友说的这两者光学厚度怎么求呢还有我软件里面设计的厚度，这三者是什么关系我现在有点搞不清楚，谢谢朋友解答下

作者: xiaojiang007 时间: 2012-9-4 14:45

Jimmy_tang 发表于 2011-12-20 09:19
我是测光谱曲线，然后算出极值点处的折射率。
能测量厚度的仪器我好想要啊。。。

朋友算出折射率后，是怎么计算得到光学厚度呢，是用n*d 也就是用折射率乘以物理厚度吗，那材料的物理厚度在那得到的，是在软件里面看出来的吗？还是其他的方法呢谢谢

作者: 2011059 时间: 2012-9-9 08:02

路過學習.....

作者: xiaojiang007 时间: 2012-9-10 10:34

Jimmy_tang 发表于 2011-12-20 09:19
我是测光谱曲线，然后算出极值点处的折射率。
能测量厚度的仪器我好想要啊。。。

那朋友你的物理厚度是怎么得到呢，这个厚度要确认吧，难道用的是软件里面的物理厚度吗，还是通过其他的途径呢，谢谢解答下

作者: 超越 时间: 2012-9-12 20:41

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