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标题: 请问增加充氧是否可以增加膜层的牢固度呢？ [打印本页]

作者: matta 时间: 2004-8-23 18:21
标题: 请问增加充氧是否可以增加膜层的牢固度呢？

如题，我最近镀膜出现膜裂的问题，一直没有解决，但是发现增加充氧时，膜裂的就少了，是不是可以肯定增加充氧就可以增加膜层的牢固度呢？还有，镀膜完后不是要烘烤吗，我降低了10度（90－－80），结果一个膜裂的也没有了，但原来用90度的时候也没有的，现在虽然用80度烘不影响生产，但我想把最根本的原因找到，请各位帮忙唠

作者: lh040805 时间: 2004-8-23 18:33

我想，镀膜时的真空度是影响膜层牢固程度的一个因素，充氧量的增加直接导致工作真空的变化。充氧量当然和你用的材料（基片、膜料）有关系，不同材料性质不同，工艺也不同。

（。。。还有，镀膜完后不是要烘烤吗，我降低了10度（90－－80），结果一个膜裂的也没有了，但原来用90度的时候也没有的，现在虽然用80度烘不影响生产，但我想把最根本的原因找到，请各位帮忙唠）

后半部分内容，没看懂你的意思，不敢妄评。

作者: wish 时间: 2004-8-23 22:31
一般来说真空度低的话膜是比较疏松的，也影响牢固度。

作者: zheng 时间: 2004-8-24 05:22
膜裂是因为应力太大,你放氧的话使膜的结构变疏松,应力减少,膜裂自然减少.但要注意,充氧的量要把握好,不然就会脱膜.

作者: Leesnow 时间: 2004-8-24 17:13
对啊,膜裂并不是说它不牢固,而是应力的问题,改变了真空度不仅使膜层变得疏松,而且有可能改变了膜料的折射率!影响膜的指标,要适当把握充氧量!

作者: x_x_x_f 时间: 2004-12-16 21:53
那烘烤温度对减少膜裂有什么影响呢？

作者: zheng 时间: 2004-12-17 06:54
具体要看你的镀膜材料,例如你镀二氧化硅,你放氧的话,膜是否会变疏松?但对二氧化钛,你是必须放氧的,放少了有吸收,放多了会脱膜.适量的氧气量可以生成较稳定的结合力较好的二氧化钛介质膜.

作者: snebur 时间: 2005-1-24 05:29
有些材料必须要充氧！否则去看一下折射率地变化就明白了!做个对比试验吧！

作者: kuan 时间: 2005-1-26 21:30

充氧只是為了材料不吸收而反應完全

應力則可以靠速率或烘烤等來改變

作者: x_x_x_f 时间: 2005-1-27 19:26

看了这么多回复，我得到以下理解：

1.充氧是为了减少氧化物膜料的吸收；

充氧越多，膜层中金属越少，氧化物越多，吸收越少；

2.充氧的同时改变了真空度，真空度影响膜的疏松与否；

充氧越多，真空度越低，膜越疏松；

3.蒸发速率和烘烤温度影响膜的应力；

速率越大，烘烤温度越高，膜应力越大；

4.膜裂是由于膜应力太大，膜弱是由于膜疏松；

是否是这样？

作者: zz 时间: 2005-1-28 18:47
当然不会,相同条件下充O2的好了.

作者: xiaozhou 时间: 2005-2-14 00:52
在蒸镀过程中充氧并不是越多越好，不同膜料（氧化物）的蒸镀压力都有不同的范围，当蒸镀压力超过这个范围后其膜料的折射率，吸收值都会起变化。并且当蒸镀压力太高时非常容易导致脱膜。

作者: tju_dong 时间: 2005-2-16 03:15

这么多评论~我觉得也是应力太大，造成膜裂

作者: 67866110 时间: 2005-4-7 00:38
膜层牢固问题与多方面有关:比如说,膜料,基片(包括基片的材质,清洁度)

作者: light_0405 时间: 2005-4-15 00:05
沉积温度和沉积速率和真空度对应力都有影响，但不同的膜料影响规律不一样，有的膜料表现张应力，有的表现压应力，并且随工艺因素的改变有张应力和压应力之间的转变，建议你针对你的材料做对比实验，找到合适的条件。

作者: 缘睐汝痴 时间: 2011-10-16 21:17
学习中

作者: mfsw123 时间: 2011-10-19 06:25
我们厂做的都是加温的啊 AL3O2+H4+MGF2
你们讨论的我都不懂！！还有不加温的，那位大虾能介绍一下吗？

作者: mfsw123 时间: 2011-10-19 06:28

mfsw123 发表于 2011-10-19 06:25
我们厂做的都是加温的啊 AL3O2+H4+MGF2
你们讨论的我都不懂！！还有不加温的，那位大虾能介绍一下吗？

丢人了

是 AL2O3+H4+MGF2

作者: 逐梦者 时间: 2011-10-25 12:02
恩，学习了。虽然到最后还是不太懂！

作者: haitao1573 时间: 2011-10-27 22:33
长了见识

作者: xiao2011 时间: 2011-11-3 19:42

作者: jiahao1985312 时间: 2011-11-4 15:24
是啊，不知有没有前辈实际做过这个实验？不开离子源，只是充不充氧，膜层牢固度，折射率会有差别吗？？
忘前辈指点

作者: xingmengwuheng 时间: 2011-11-5 23:31
这个可以去做几组对比实验的，再对实验结果作分析

作者: yuliang518 时间: 2014-11-4 05:27
这样的要讨论好啊，

作者: 爺、獨霸怡葒院 时间: 2014-12-15 22:03
学习了

作者: yzhuang 时间: 2015-3-14 18:25
充氧直接影响折射率与吸收,应力的话更复杂一点

作者: maray 时间: 2015-3-23 19:11

作者: charles2022 时间: 2017-6-21 02:30
学习了好资料啊，

作者: wtaotao 时间: 2017-8-10 16:26
应该还是要看是什么材料啊，膜裂也不是脱膜问题啊

作者: ouyuu 时间: 2017-8-20 11:34
每个材料在不同的温度下表现的应力不同。
镀膜速率，温度，真空度，是否离子源辅助都会影响到应力。
这个主要就是经验了，楼主自己慢慢实验吧。

作者: 无良作品 时间: 2017-12-25 18:04
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作者: 轩zjw哥 时间: 2018-1-23 22:10
不错可以学习一下！

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