光电工程师社区

标题: 五氧化三钛速率多少合适呢? [打印本页]

作者: 地平线 时间: 2012-1-31 17:50
标题: 五氧化三钛速率多少合适呢?
大伙都说说你们一般镀膜TI3O5速率打到多少啊??我这用的龙翩机,一般打到4-5左百.

作者: xiazg 时间: 2012-2-1 09:37
JJK maxtek 晶振片有需要的吗 15068338773 夏志国 QQ1046118891

作者: z1206l 时间: 2012-2-1 12:48
和电子枪的性能，

膜料形态，预熔情况有很大关系。

而且和你要镀膜的质量和良率也影响很大。

在不影响质量的情况下，当然是越快越好了。

一般3A/S吧。

作者: 良哥 时间: 2012-2-1 15:11
3-5A/S

作者: 地平线 时间: 2012-2-1 17:35
嗯,受教了.

作者: zjtzzw 时间: 2012-2-1 18:28
正常情况为：3.5~4A 速率越快，效率越高嘛，但要考虑光洁度。

作者: xiao2011 时间: 2012-2-1 22:32
3-5a/s

作者: www.lugo123.com 时间: 2012-2-2 09:42

作者: hacker 时间: 2012-2-2 10:30
龙翩机,一般打到6A/S都可以，Temescal的电子枪的性能很好

作者: E501559 时间: 2012-2-2 15:36
根据Prosess，3~5A

作者: 地平线 时间: 2012-2-2 19:04
本帖最后由地平线于 2012-2-2 22:59 编辑

我们用的有JEOL JST-10F/203电子枪,有PLASMATECH,电压在6KV左右,在打TI3O5时,电压在6KV左右,电流打到550A(TI3O5)左右,速率一般在3.5A/S,想问下各位有用同样电子枪的同行,这样打是不是打低了?因为实际我设想如果速率能打到5左右会比较好(速度会快一点),但是电流打大了,又担心电子枪过载太大,发射器钨丝寿命太短.
请各位赐教了.

作者: 九段坡 时间: 2012-2-5 10:06
有条件的话最好做个实验每个速率、对应你的产品所需温度等再对比下光谱看看折射率、吸收，膜层的微观结构应该是不好搞了。这些资料供应商应该可以提供的，每款机器他们都会做实验对比数据的。

作者: cxm05371 时间: 2012-2-7 15:33

作者: xiao2011 时间: 2012-2-7 21:34

作者: 250674670 时间: 2012-2-10 15:59
我们也是龙偏机一般在290速流，

作者: wdydede 时间: 2012-5-11 01:05
tio2做出来会有雾吗？

作者: wdydede 时间: 2012-5-12 21:44
上传一下OPTRON公司膜料的试验资料，希望对大家有用！！

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作者: lzh123jy 时间: 2012-5-23 23:41
我们公司的龙翩机和光驰机都采用的是3A/S 需要多大的功率就要综合考量很多如制程的稳定性及外观成膜周期成本等等！～

作者: sanma 时间: 2012-6-5 09:57
我用南光机，2A/s,束流350mA

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