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标题: 又来了一个镀膜问题，最近总是接二连三的，求助求助。先谢谢大家对上个问题的帮助，谢 [打印本页]

作者: xiaohuilee 时间: 2012-2-21 18:49
标题: 又来了一个镀膜问题，最近总是接二连三的，求助求助。先谢谢大家对上个问题的帮助，谢
自从机器的漏水问题修好后，换了新的TI3O5硬壳。坩埚也重新校准后，现又出现了新的问题
1.TI3O5速率始终上不去，我的机台是水晶控制电子枪功率的，导致功率上升过高跳了，且还是上不去。XTC报警。报警问题是 xtc异常（STOP).更换新的也没有作用。
2.我将真空度调整了，将TI3O5的调整镀膜电流为1.6810-2pa，可是镀了两炉都没问题，第三炉又是上述报警。SIO2没有问题
3.镀膜的时候也将光斑调整没有问题。

请问专家们，我的机器到底是哪里出现了问题。
这是上一篇问题的求助http://bbs.oecr.com/forum.php?mo ... mp;page=1#pid973412
先谢谢专家们无私的解答。

作者: xiaohuilee 时间: 2012-2-21 18:58
镀膜真空是1.6*10-6pa 不好意思

作者: xiao2011 时间: 2012-2-22 08:28
镀膜真空是1.6*10-2pa吧？

作者: xiao2011 时间: 2012-2-22 08:30
是不是你的电子枪水冷没开

作者: shuangzixing 时间: 2012-2-22 11:32
检查电子枪还有电子枪水流和灯丝位置

作者: xiaohuilee 时间: 2012-2-22 18:30

xiao2011 发表于 2012-2-22 08:30
是不是你的电子枪水冷没开

不好意思打错的是1.6*10-2pa
经检查电子枪冷却水没有问题，而且还疏通了冷却水管

作者: xiaohuilee 时间: 2012-2-22 18:30

shuangzixing 发表于 2012-2-22 11:32
检查电子枪还有电子枪水流和灯丝位置

都检查过了没有什么问题就是找不到具体原因所在

作者: wazxq 时间: 2012-2-24 05:43
很明显枪的问题，看看哪接触不好

作者: 446834285 时间: 2012-2-26 18:12
在IC/5新增一个TI3O5，然后替换掉原先的TI3O5，试试看。。。

作者: xiaohuilee 时间: 2012-2-28 19:35
谢谢大侠们，现在问题已经解决了。

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