光电工程师社区

标题: 膜面质量 [打印本页]
作者: yibi11    时间: 2012-3-9 11:40
标题: 膜面质量
现在出的东西膜面不能让人满意，用强光一照之下总是发现有许多点子，不知道是膜料沾点还是杂质等其他的东西，头疼啊！我多融了料，抓了清洁，效果都不明显，现在怀疑跟枪有关，希望各位大哥多发表点意见，先谢谢了。对了，我用的是铪和硅！
作者: ZHJ7239    时间: 2012-3-9 20:34
我们用氧化铪膜料也是有很多点，
作者: 想夜的雨    时间: 2012-3-9 23:03
关键问题是蒸发速率，如果速率过大，膜层的粗糙度会很大，降低速率试试吧
作者: 想夜的雨    时间: 2012-3-9 23:19
还有一点就是，与使用的离子源有关系，看是哪个类型的离子源。
作者: WENJINGREN    时间: 2012-3-12 09:53
先分清点子的状况，才能确定
作者: yibi11    时间: 2012-3-13 17:09
想夜的雨 发表于 2012-3-9 23:03
关键问题是蒸发速率，如果速率过大，膜层的粗糙度会很大，降低速率试试吧

感谢了，我用的是老设备，光控的，速率也刻意放慢，不过若是慢多了膜厚仪会不稳定，结果出来效果也不好，另外弱弱的说一句，那台设备上没得离子源。。
作者: yibi11    时间: 2012-3-13 17:11
WENJINGREN 发表于 2012-3-12 09:53
先分清点子的状况，才能确定

日光灯下看不出来，我们是用强光的那种手电筒来看，就感觉膜层上面密密麻麻的全是像灰层一样的点子，，，
作者: yibi11    时间: 2012-3-13 17:12
ZHJ7239 发表于 2012-3-9 20:34
我们用氧化铪膜料也是有很多点，

我也怀疑会不会是料的关系
作者: nkclone    时间: 2012-3-13 17:33
熔料质量也制约表面光洁度啊。
作者: guhua530    时间: 2012-3-14 07:20
膜面点子,我做可见光到红外的镀膜一直都存在这个问题，请有实际解决能力的高手指点啊！
个人觉得材料是个决定因素！
作者: yibi11    时间: 2012-3-14 12:10
guhua530 发表于 2012-3-14 07:20
膜面点子,我做可见光到红外的镀膜一直都存在这个问题，请有实际解决能力的高手指点啊！
个人觉得材料是个决 ...

顶
作者: tfc    时间: 2012-3-16 09:18
用金属铪+氧+SIO2做过10——5的产品，你的老机器，那么门是关不太紧了，要靠真空吸力。。。
作者: 想夜的雨    时间: 2012-3-16 23:23
问一下，有没有冷阱除霜啊，如果有除霜，那就是除霜后充气造成的
作者: yibi11    时间: 2012-3-20 10:27
想夜的雨 发表于 2012-3-16 23:23
问一下，有没有冷阱除霜啊，如果有除霜，那就是除霜后充气造成的

我们是有氟利昂冷阱，不知道你说的除霜后充气造成的 是什么意思呢，能说得再明白一点么，先万分感谢了。。。
作者: yibi11    时间: 2012-3-20 10:30
tfc 发表于 2012-3-16 09:18
用金属铪+氧+SIO2做过10——5的产品，你的老机器，那么门是关不太紧了，要靠真空吸力。。。

这倒是个方法，不过我们的设备可能没法这么去做
作者: killjackson    时间: 2012-3-21 17:18
先确定是否是HfO2、SiO2中哪一个的问题，或者2者都有问题？
再去想办法
作者: tfc    时间: 2012-3-22 23:01
氧化铪是升华型的，非常容易局部过热，导热又不好，电子枪光斑热量是不均匀的，你怎么也做不出均匀光斑，细麻点肯定是有的，机器不同，程度就不同而已，不能根本解决。
作者: laoxianccc    时间: 2013-4-27 12:26
作者: LOUYC    时间: 2013-7-22 13:55
换换膜料试试吧
作者: ipshjh    时间: 2013-7-22 21:06
作者: pc030319    时间: 2014-6-18 21:38
环境湿度，片子上自身有没有点？
作者: royyang    时间: 2014-7-1 22:33
学习学习



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