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标题: 滤光片中心波长不稳定 [打印本页]

作者: yufe16fisher 时间: 2012-3-18 09:37
标题: 滤光片中心波长不稳定
最近镀的滤光片，中心波长很不稳定，比如一炉650左右，膜系没动，镀膜参数变化也不大，下一炉642左右，变化很大，每台机器都存在这种情况，会是什么原因导致的呢？

作者: starliu2006 时间: 2012-3-19 11:34
可惜我不知道，不然告诉你了

作者: cynical33 时间: 2012-3-19 18:58
这个跟镀膜机关系很大啊，你是什么镀膜机？

作者: longmin 时间: 2012-3-19 22:28
一定要慢慢分析原因

作者: 蔻蔻 时间: 2012-3-20 09:26
说的不错！支持一下！回个小贴表明我来过了！多说句话说明我鉴定通过了！

作者: yuvia_ye 时间: 2012-3-22 11:15
关键你是用什么设备

作者: JINFENG215107 时间: 2012-3-22 14:21
中心波长漂移原因还真说不清楚，以前解决

都是调参数

作者: JINFENG215107 时间: 2012-3-22 14:23
对了，可能是真空镀膜室脏了。

作者: yufe16fisher 时间: 2012-3-22 16:27
真空室脏，已排除，南光机

作者: tfc 时间: 2012-3-22 23:04
请列出3天内各台机器每炉的波长位置，标注每炉出炉时间是当天的几点钟

作者: nigoleo 时间: 2012-3-25 23:30
看看冷却水水温，超净间的温湿度变化

作者: xiao2011 时间: 2012-3-26 21:51

作者: nkclone 时间: 2012-3-27 13:49
帮忙顶一下~~

作者: zouyou828459 时间: 2012-3-27 19:28

作者: zouyou828459 时间: 2012-3-27 19:28
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