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标题: 修正板与360膜厚仪里的工具因子 [打印本页]

作者: zouyou828459 时间: 2012-3-27 21:15
标题: 修正板与360膜厚仪里的工具因子
修正板与360膜厚仪里的Tooling factor具体功能在此各位大侠们帮我分析下

作者: yezhi381009880 时间: 2012-3-30 11:02
一个是同炉的均匀性，tooling是你整个膜厚的镀制偏差。就是理论和实际的一个系数关系

作者: copland 时间: 2013-3-19 11:43

yezhi381009880 发表于 2012-3-30 11:02
一个是同炉的均匀性，tooling是你整个膜厚的镀制偏差。就是理论和实际的一个系数关系

就是这样的

作者: sgh920 时间: 2019-4-29 15:50

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