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标题: SIO蒸发源选用 [打印本页]

作者: 缘睐汝痴 时间: 2012-3-28 15:07
标题: SIO蒸发源选用
SIO只能用阻蒸蒸发吗，为什么呢

作者: lzk010 时间: 2012-3-29 00:13
您好，您对一氧化硅镀膜很专业吧。我想了解一氧化硅镀膜设备及操作，您能推荐一些的资料吗？谢谢！

作者: E501559 时间: 2012-3-29 08:30
SIO 当然只能用电阻蒸发（蒸发舟）
1）因为在镀膜蒸发后，有残渣；
2）必须充氧气；

作者: HGcoating 时间: 2012-3-29 09:17
SIO充氧气会变成什么。。。。。注意此材料折射率变化很大

作者: 缘睐汝痴 时间: 2012-3-29 19:09

E501559 发表于 2012-3-29 08:30
SIO 当然只能用电阻蒸发（蒸发舟）
1）因为在镀膜蒸发后，有残渣；
2）必须充氧气；

SIO是升华的哇，所以不用预熔，当然更不会融到一起了，是不是也可以用电子枪呢，只能说用电子枪只是比较浪费膜料呢？？？另外就是你说SIO必须充氧，为什么呢，充氧后SIO不会生成SIO2吗，怎么的呢

作者: 缘睐汝痴 时间: 2012-3-29 19:18

lzk010 发表于 2012-3-29 00:13
您好，您对一氧化硅镀膜很专业吧。我想了解一氧化硅镀膜设备及操作，您能推荐一些的资料吗？谢谢！

我也不是很了解哈，只知道SIO用阻蒸镀，就是南光机就行，资料我也没有，这方面的资料应该没吧，你找找薄膜材料方面的资料看看

作者: guhua530 时间: 2012-3-29 20:33
充氧

。。。。。。

作者: qjy 时间: 2012-3-30 08:48

guhua530 发表于 2012-3-29 20:33
充氧。。。。。。

谁说镀SiO必须充氧？胡说八道。在可见区代替SiO2使用时要充氧没错，否则镀出来的是SiO，膜层发黑有吸收。可是如果你要是用在中红外和Ge搭配做滤光片或者啥东西，你还要充氧吗？是不是脑子该充充氧了

作者: john03062003 时间: 2012-3-30 08:49

E501559 发表于 2012-3-29 08:30
SIO 当然只能用电阻蒸发（蒸发舟）
1）因为在镀膜蒸发后，有残渣；
2）必须充氧气；

？？你能告诉我为什么只能用电阻蒸发？？同时充氧气？？我要知道其中的原因，这是个比较严肃的问题，不能信口开河，随意发挥的，否则有误导他人的嫌疑！！！

作者: qjy 时间: 2012-3-30 09:36
SiO必须阻蒸蒸发也是胡说，电子枪蒸发也是完全可以的

作者: guhua530 时间: 2012-3-30 11:23
本帖最后由 guhua530 于 2012-3-30 11:25 编辑

qjy 发表于 2012-3-30 08:48
谁说镀SiO必须充氧？胡说八道。在可见区代替SiO2使用时要充氧没错，否则镀出来的是SiO，膜层发黑有吸收。 ...

看清楚了再说！看图能力差啊

作者: shuangzixing 时间: 2012-3-30 19:23
昨天我们就镀了一氧化硅。就是用电子枪镀的。带扫描不冲氧速率不能太快。蒸发功率和氟化镁差不多大。你可以先试试

作者: tfc 时间: 2012-3-31 08:09
镀到基片上是SIO，一般用三种方法：电阻蒸发、电子枪、磁控

作者: E501559 时间: 2012-3-31 10:20
又学习了，不这么说，哪有这么多大师们捧场啊，谢谢啦！

作者: ipshjh2005 时间: 2012-5-6 19:41

作者: wdydede 时间: 2012-5-12 20:40
SIO用电子枪可以蒸发，束流不能大，易跳点

作者: qs2784 时间: 2012-6-21 21:49
冲氧不用吧电子枪蒸发肯定可以

作者: zhangxiaojing82 时间: 2012-10-6 16:21
大家有没有辉光镀sio的

作者: dyfdudu 时间: 2012-10-10 16:25
用电子枪蒸发，光点不要直接打到药品上面，这样容易飞溅。可以用电子枪蒸发防水药片的办法

作者: ZWP5602 时间: 2012-10-11 00:07
谢谢了

作者: lzk010 时间: 2012-12-25 11:06

HGcoating 发表于 2012-3-29 09:17
SIO充氧气会变成什么。。。。。注意此材料折射率变化很大

用SIO镀膜的时候充氧气镀的膜成分为SIO2，需要的氧气分压很小（文献资料）。您知道哪里可以帮忙镀膜吗？谢谢！

作者: lzk010 时间: 2012-12-25 11:09

缘睐汝痴发表于 2012-3-29 19:09
SIO是升华的哇，所以不用预熔，当然更不会融到一起了，是不是也可以用电子枪呢，只能说用电子枪只是比较浪 ...

用SIO镀膜的时候充氧气镀的膜成分为SIO2，需要的氧气分压很小。即使不添加氧气，由于抽真空不纯，会形成SIOX,X约1.5（文献资料）。按你的意思，一氧化硅镀膜后，膜的成分是什么？

作者: lzk010 时间: 2012-12-25 11:15

qjy 发表于 2012-3-30 08:48
谁说镀SiO必须充氧？胡说八道。在可见区代替SiO2使用时要充氧没错，否则镀出来的是SiO，膜层发黑有吸收。 ...

您好，请问您是否能帮忙镀膜？还有一氧化硅镀膜时，绝对不含氧气应该很难，文献中提到残留的少量氧气将一氧化硅部分氧化。添加少量氧气将形成二氧化硅膜。这么说，加适量氧气应该正常吧。

作者: HGcoating 时间: 2012-12-26 08:59

lzk010 发表于 2012-12-25 11:06
用SIO镀膜的时候充氧气镀的膜成分为SIO2，需要的氧气分压很小（文献资料）。您知道哪里可以帮忙镀膜吗？谢 ...

我每天都在镀。。。。呵呵

作者: qjy 时间: 2012-12-31 00:22

lzk010 发表于 2012-12-25 11:15
您好，请问您是否能帮忙镀膜？还有一氧化硅镀膜时，绝对不含氧气应该很难，文献中提到残留的少量氧气将一 ...

不好意思，最近有事没顾上上网，刚看到。如果需要镀膜或咨询相关问题可以直接电话联系我，手机13809197879

作者: chao_li0622 时间: 2012-12-31 13:03
学习

作者: lzk010 时间: 2013-1-2 11:14

qjy 发表于 2012-12-31 00:22
不好意思，最近有事没顾上上网，刚看到。如果需要镀膜或咨询相关问题可以直接电话联系我，手机1380919787 ...

没关系，是由一些问题，到时咨询你，谢谢！

作者: crl0129 时间: 2013-12-5 09:37
学习啦

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