光电工程师社区

标题: SIO2挖坑，表面发白或发朦不透明的问题 [打印本页]

作者: huang12949 时间: 2012-3-31 03:05
标题: SIO2挖坑，表面发白或发朦不透明的问题
求教：SIO2挖坑严重，1/4波长光学厚度的SIO2挖坑呈锥状且深，ZNS,SIO2膜堆，TIO2或ZRO2收尾。

坛子里很多高人说到SIO2电子枪蒸发用低束流，不开扫描蒸发，那么请问我这问题如何解决？谢谢各位了，急呀，头发都白了，人也憔悴了。

作者: HGcoating 时间: 2012-3-31 09:46
用环形坩锅加扫描

作者: guhua530 时间: 2012-3-31 11:10
用环形坩锅加扫描

作者: E501559 时间: 2012-3-31 16:44

作者: shuangzixing 时间: 2012-4-13 08:08
用环形坩锅加扫描。坩埚转速要慢。增加横向扫描。控制到增发速率

作者: shuangzixing 时间: 2012-4-13 08:09
不好意思是控制好蒸发速率。

作者: 496316388 时间: 2012-4-13 15:33

作者: tfc 时间: 2012-4-13 16:37
你先说说你的枪是多少度的，国产还是进口，一般先要保证枪头无问题才好，镀SIO2其实可以有快速扫描和慢速扫描两种，要看你机器的扫描方式，我不建议不开扫描，一定要停扫描的话，只是说明枪很差。

作者: niekai@ 时间: 2012-4-17 15:01
改环形坩埚或者加大光斑或者先来一个预熔

作者: laoxianccc 时间: 2013-4-27 11:43

没人解决?

作者: ghtzna 时间: 2013-4-28 10:10
呵呵这个需要改变，你目前的参数不适合哈

作者: 新手求教 时间: 2013-4-28 11:11

作者: LOUYC 时间: 2013-7-22 13:52

作者: wdydede 时间: 2013-7-22 22:41

欢迎光临光电工程师社区 (http://bbs.oecr.com/)