光电工程师社区

标题: 如何测量几个nm薄膜的厚度？ [打印本页]

作者: vietti 时间: 2004-8-26 17:31
标题: 如何测量几个nm薄膜的厚度？

作者: coatingli 时间: 2004-8-26 18:35
试试用原子力显微镜！

作者: yh15430 时间: 2004-8-26 19:27
标题: 回复：（vietti）如何测量几个nm薄膜的厚度？

测量的目的是什么？

作者: sswh 时间: 2004-8-26 20:32

几nm是台阶仪的误差范围了，多测几次看大概的厚度应该可以吧

作者: zhangqf2000 时间: 2004-8-27 18:34

不知测这个的用处和目的，镀膜机里是用晶控来测膜厚的。

作者: wish 时间: 2004-8-27 21:58
晶控的测量精度没有这么高吧？？？只能是大概值

作者: lh040805 时间: 2004-8-27 22:52

晶控可能比光控精确多了啊，晶控的单位是埃，加上操作误差，在几纳米之内应该差不多啊

光控是个大概还差不多啊

作者: ippsong 时间: 2004-8-27 23:05
用橢偏儀應該可以吧.

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