光电工程师社区

标题: [讨论]：ITO镀膜问题 [打印本页]

作者: ZHE910 时间: 2004-8-26 20:30
标题: [讨论]：ITO镀膜问题
ITO镀膜产生的裂膜，白雾，核膜后不均的原因有哪些，请大家讨论讨论

作者: xiaohe 时间: 2004-9-10 23:41
这个问题影响的主要因素有水汽和扩散泵的返油造成的，咨询０５５１５３２９１９５何

作者: matta 时间: 2004-9-10 23:58

膜裂是由于膜表面应力造成的，降低表面应力的方法有

1.降低蒸发速率

2.延长放气时间

3.降低烘烤温度

作者: colman91155 时间: 2004-9-11 07:57
请问有能在ZnSe上镀ITO膜的吗？

欢迎光临光电工程师社区 (http://bbs.oecr.com/)