光电工程师社区

标题: 中心波长漂移问题 [打印本页]

作者: dreamwithin 时间: 2012-4-13 23:26
标题: 中心波长漂移问题
请教一个常见的问题，公司两台镀膜机，主要镀制窄带滤光镜。在准确测定材料Tooling后，镀膜结果总是难以稳定且发生偏移，长波偏一段时间，短波又偏一段时间，重新测定Tooling时，发现发生了变化。机器每次的工作条件都相同，包括光斑位置都相同，材料平面高度也相同，修正挡板位置也没发生变化，不知这种现象如何引起的。

测定材料厚度和折射率所用的仪器是Filmetrics公司的F20-UVX，同时测定薄膜厚度和折射率。每次发生偏移后，重新测定材料时，发现折射率基本没什么变化，厚度却发生了变化，有时很小，有时变化则大，在没有改动Tooling的情况下。

也不知道这种问题是如何引起的，能考虑的问题都考虑了，问题依旧。就SiO2而言，连续一个月的观察和测试结果如下：设备调试好后测定SiO2的Tooling为96.4，几天后发现产品波长偏移，重新测定SiO2的Tooling变化为99.3，之后一个月内的变化是102.9，104.1，100.4，97.3。。。。。。总之，厚度很不稳定。晶控仪无故障，探头水冷正常，独立循环水，恒温26摄氏度。每次测定折射率基本无变化，只是厚度变化了。设备清洁保持很好，一天换一次，电子枪打扫也很干净，灯丝位置一致，光斑恒定，探头清洁也很好，每次换晶片都打扫。

请问大家知道这种问题的根源在哪里吗。

作者: tfc 时间: 2012-4-14 07:53
什么机器，你的机器有没有冷热水切换？

作者: 强子 时间: 2012-4-14 10:00
开镀真空是否一致？O2是否一样？如一样，建议换一家晶振片试试。QQ：2860598589

作者: dreamwithin 时间: 2012-4-14 11:09
设备是成都真空机械厂的，充气装置为压控和流量计两路，冷热水切换没有。无论使用流量计还是压控仪，结果都这样，镀膜时，每次本底真空都相同，充氧至2.0E-2，真空稳定，晶振片是JJK的。关键问题在于，每次测定后，能够稳定一段时间，之后就变化了，再测，再稳定，之后又变。

作者: WENJINGREN 时间: 2012-4-14 11:30
药品需要予熔吗。

作者: dreamwithin 时间: 2012-4-14 12:06
有预熔，且初始装料都分层预熔，严格得很的

作者: tfc 时间: 2012-4-14 14:05
用的冷阴极还是热阴极？镀膜起始真空是多少？

作者: ZHJ7239 时间: 2012-4-14 17:27
影响波长的原因很多，比如环境温度，湿度，抽速，真空规管等等.....

作者: idandie 时间: 2012-4-15 21:29
路过学习学习，是个好习惯

作者: 魅力薄膜 时间: 2012-4-22 10:48
新手回答，仅供参考：第一，由于是国产的扩散泵，所以他的抽速不稳定。第二，真空规管是否定期更换，维护，使真空测量不准确。第三，压控仪是否稳定。建议：记录开始开机械泵的时间到镀膜结束的时间，看真空的变化时候明显。

作者: 查水表的 时间: 2012-4-25 12:58
新手来看看。

作者: heliangliu 时间: 2012-4-27 05:25
我是新手,但从你的描述上看, 应该是每层的厚度变化最总导致你波长的变化. 所以你就做一段时间的厚度监控和反馈.看看到底是由什么引起的.

作者: E501559 时间: 2012-4-27 08:28
如果在同一个条件下，建议换另一家的晶振片试一下；

作者: 2011059 时间: 2012-9-6 05:36
路过学习学习

作者: fql3310 时间: 2012-9-14 20:51
镀薄镀厚在于电子枪灯丝，它受环境影响的表现形式在于高压束流。这种96.4%－104.1%的系数问题是较好调过来的。如果镀膜的要求更高，要学习VEECO机，2*10－4帕的起始真空，充气改用干净气体充气，还有冷扩散泵（零下200度以下）。

作者: funky5043 时间: 2012-10-17 13:38
是電子槍蒸鍍? 還是濺鍍?
若是濺鍍, 因為長期使用靶材, 靶材厚度改變造成鍍膜光譜平移微飄也是個因素.

作者: lovemannyzhu 时间: 2012-10-17 22:34
段取时间要恒定！

作者: wazxq 时间: 2012-10-24 09:25
国产机能作什么样的窄带，半宽多宽的，窄带是敏感膜系，不稳定才是正常的

作者: zhenxing 时间: 2012-10-24 10:14
鍍高精度的窄帶膜是需要光學監控的。難以置信樓主靠國產JJK的晶振片來監控（建議使用INFICON).
這是鍍膜最有技術難度的問題，涉及到的因素太多了！只有親臨現場才能找出真因。

作者: 李昌瑞 时间: 2012-10-25 19:30

dreamwithin 发表于 2012-4-14 11:09
设备是成都真空机械厂的，充气装置为压控和流量计两路，冷热水切换没有。无论使用流量计还是压控仪，结果都 ...

成都的南光机重复性的确不太好做,就算操作条件一致,波长偶尔也会发生漂移,它的这个电子枪也不怎么样,控制得不是很稳定.晶振对厚度的控制上,产生的偏差比较大.

作者: 相伴/sun天涯 时间: 2012-10-26 13:14

作者: LOUYC 时间: 2013-7-23 11:29

作者: crl0129 时间: 2013-12-8 15:18

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