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标题: 急！急！急！有关发雾 [打印本页]

作者: 强子 时间: 2012-4-14 15:23
标题: 急！急！急！有关发雾
本帖最后由强子于 2012-4-21 17:00 编辑

如图，最近生产的产品表面不够透亮，有发雾现象，在显微镜下看有层一层密集的小红点，出现此现象后我将温度从250（实测）调整到现在的180，O2也下调到现在的极致（再调就会发黑），但实际还是不稳定，时有发雾现象。镀膜材料为TI3O5和SIO2，速率为2.5和6.请各位同行帮我分析一下看是哪个环节没做好。

作者: WENJINGREN 时间: 2012-4-15 10:02
基地不干净

作者: 强子 时间: 2012-4-16 10:20

WENJINGREN 发表于 2012-4-15 10:02
基地不干净

我手擦片放进去同时镀结果也是一样

作者: shuangzixing 时间: 2012-4-17 12:10
会不是是真空室不干净

作者: niekai@ 时间: 2012-4-17 14:26
兄弟啊这么简单的问题你吧会不知道吧这有两种情况一首先可以肯定你的TI3O5肯定有问题，氧气问题，二是你的基片处理有问题。总结你的膜料有问题你所碰到的问题是最常见的，俗称牛奶雾和黑子。好好弄一下你的膜料吧，你提到的温度也不太正常，你试一下把你的温度调到270 这样吸收和折射率都好点慢慢摸索一下吧

作者: 强子 时间: 2012-4-17 16:42
谢谢你的回复，H材料我更换了2个厂家的，L材料更换了3个厂家的，结果也是一样，充氧：为流量控制。从大流量到低流量均出现，不稳定，且在充氧不足的情况也也出现红点。L折射率材料充氧与否均出现。温度的话180是太低，折射率低了曲线肯定不好做，我是所有的该考虑的都考虑并验证了，总感觉有那个环节没抓住。我QQ：2860598589

作者: 强子 时间: 2012-4-17 16:43

niekai@ 发表于 2012-4-17 14:26
兄弟啊这么简单的问题你吧会不知道吧这有两种情况一首先可以肯定你的TI3O5肯定有问题，氧气问题， ...

谢谢你的回复，H材料我更换了2个厂家的，L材料更换了3个厂家的，结果也是一样，充氧：为流量控制。从大流量到低流量均出现，不稳定，且在充氧不足的情况也也出现红点。L折射率材料充氧与否均出现。温度的话180是太低，折射率低了曲线肯定不好做，我是所有的该考虑的都考虑并验证了，总感觉有那个环节没抓住。我QQ：2860598589

作者: 强子 时间: 2012-4-17 16:49

shuangzixing 发表于 2012-4-17 12:10
会不是是真空室不干净

谢谢，彻底清洗机器内部及高阀、冷井同样出现。

作者: xiao2011 时间: 2012-4-17 19:40

作者: tfc 时间: 2012-4-18 07:54
查下漏率，大门关闭时密封情况，膜料预熔，有没有离子源？

作者: 强子 时间: 2012-4-18 09:08

tfc 发表于 2012-4-18 07:54
查下漏率，大门关闭时密封情况，膜料预熔，有没有离子源？

查漏率没问题，没有离子源，二次电子也已排除，经常出现在外圈，怀疑与材料有关系，现在正在更换材料确认

作者: tfc 时间: 2012-4-18 13:48
温度调280°(——实际温度，不是显示温度），氧气恒到2.5X10-2帕镀TI2O3看看，是国产的料？

作者: tfc 时间: 2012-4-18 13:48
速率2.0吧

作者: 强子 时间: 2012-4-18 14:54

tfc 发表于 2012-4-18 13:48
温度调280°(——实际温度，不是显示温度），氧气恒到2.5X10-2帕镀TI2O3看看，是国产的料？

我做的是透亮的片，280度做不亮的啊。材料是国产的

作者: tfc 时间: 2012-4-18 15:39
为什么做不亮？我原来做激光晶体都没有问题啊，而且在这个温度是有理论根据的，怎么可能不亮？！！！
你直接换进口的吧，比如OS-50

作者: 强子 时间: 2012-4-18 16:38

tfc 发表于 2012-4-18 15:39
为什么做不亮？我原来做激光晶体都没有问题啊，而且在这个温度是有理论根据的，怎么可能不亮？！！！
你直 ...

我用了莫克的材料，做了3罩，没有出现红点，但此材料太贵，还是要想其他办法。我QQ：2860598589

作者: ZHJ7239 时间: 2012-4-18 21:07
换坩埚

作者: tfc 时间: 2012-4-19 07:50

强子发表于 2012-4-18 16:38
我用了莫克的材料，做了3罩，没有出现红点，但此材料太贵，还是要想其他办法。我QQ：2860598589

如果确定是国产料出的问题，那大概是因为提纯用的盐酸吧，那是不能用的。日本、韩国的便宜些，我知道一个供应商，价格还可以，要的话，发信到我邮箱zye0769@sina.com，我不公布他的信息，不做广告。

作者: 强子 时间: 2012-4-19 11:45

tfc 发表于 2012-4-19 07:50
如果确定是国产料出的问题，那大概是因为提纯用的盐酸吧，那是不能用的。日本、韩国的便宜些，我知道一个 ...

好的，如需要我会和你联系，但昨天晚班做的又出现同样的问题，感觉和材料又没关系了。

作者: shuangzixing 时间: 2012-4-19 15:37

强子发表于 2012-4-17 16:49
谢谢，彻底清洗机器内部及高阀、冷井同样出现。

充氧只是一个折射率问题。我们冲到高真空2*10-2 ti3o5用的是上海的、我觉得是不是溅膜产生的

作者: ranguangpu 时间: 2012-4-19 18:39
把si的扫描加长点试试，加长时间抽防濡阀看看

作者: 强子 时间: 2012-4-20 18:58

shuangzixing 发表于 2012-4-19 15:37
充氧只是一个折射率问题。我们冲到高真空2*10-2 ti3o5用的是上海的、我觉得是不是溅膜产生的

不可能是溅膜，红点很密集、均匀，大小为3-5UM

作者: 强子 时间: 2012-4-20 19:01

ranguangpu 发表于 2012-4-19 18:39
把si的扫描加长点试试，加长时间抽防濡阀看看

变扫描大小已确认无改善，防湍阀以前是400秒，我改到了150秒，现在直接不用了

作者: ranguangpu 时间: 2012-4-20 20:13
以前有这情况吗？还是这段时间出现的

作者: ranguangpu 时间: 2012-4-20 20:16
你的基片镀前自己亲自确认过没点吗？

作者: 强子 时间: 2012-4-21 09:32

ranguangpu 发表于 2012-4-20 20:16
你的基片镀前自己亲自确认过没点吗？

强光灯下看不到任何东西，在别家镀后也未出现红点

作者: 强子 时间: 2012-4-21 09:40

ranguangpu 发表于 2012-4-20 20:13
以前有这情况吗？还是这段时间出现的

从2月就偶有出现，3月起开始比较多

作者: nkclone 时间: 2012-4-21 15:39
是氧气瓶的吧，氧气怎么样的参数呢？

作者: ranguangpu 时间: 2012-4-21 16:11
你放几片洁净的白片进行抽真空到开高阀后再放气进去（把放气阀用干净无尘布包住），迅速看外观变化，先确定好是镀前产生的，还是蒸镀的时候产生的

作者: z1206l 时间: 2012-4-21 17:01
一般来说，没有清洗干净。

作者: 强子 时间: 2012-4-21 17:09

nkclone 发表于 2012-4-21 15:39
是氧气瓶的吧，氧气怎么样的参数呢？

氧气是流量控制的，真空度在1.2-1.5之间（各机台不一样）

作者: 强子 时间: 2012-4-21 17:11

ranguangpu 发表于 2012-4-21 16:11
你放几片洁净的白片进行抽真空到开高阀后再放气进去（把放气阀用干净无尘布包住），迅速看外观变化，先确定 ...

放气阀是用无尘布包的，管道也用气枪包过

作者: 强子 时间: 2012-4-21 17:12

z1206l 发表于 2012-4-21 17:01
一般来说，没有清洗干净。

手擦片也一样的

作者: nkclone 时间: 2012-4-21 19:05
膜料保管的条件怎么样呢？

作者: 强子 时间: 2012-4-21 23:11

nkclone 发表于 2012-4-21 19:05
膜料保管的条件怎么样呢？

加料后都是把材料密封的。

作者: 魅力薄膜 时间: 2012-4-22 10:36
俺是新手提示一下氧气是否是高纯氧呢？？？

作者: 强子 时间: 2012-4-22 13:14

魅力薄膜发表于 2012-4-22 10:36
俺是新手提示一下氧气是否是高纯氧呢？？？

是的，4个9

作者: tfc 时间: 2012-4-23 08:00
按你说的情况，如果都排除了，就把精力集中在电子枪工作状态上吧，同时注意工件架旋转，别的机台也这样吗

作者: 强子 时间: 2012-4-23 10:05

tfc 发表于 2012-4-23 08:00
按你说的情况，如果都排除了，就把精力集中在电子枪工作状态上吧，同时注意工件架旋转，别的机台也这样吗

是的，所有机台都一样

作者: LILISRLHJ 时间: 2012-4-23 22:10
你用的什么机台，什么类型的电子枪？机台护板全部包铝纸再试！！

作者: tfc 时间: 2012-4-24 08:16
如果所有机台都同时出现、同时消失，那就查共用物品了，水、气、药剂、膜料、擦拭布。。。尝试共用物品分开。充大气口换绸布用4层吧。白天都在现场吗？彻底清洁一台机器，比较，白、夜班有无不同？这些都是用追踪办法，

作者: tfc 时间: 2012-4-24 08:21
有时，查问题不能排除人为因数，举个例子，有个人不想干了，把喷砂机的细粉撒入膜料，结果我发现为什么膜料老是镀了1/3就不行，换新也一样，当然最后查到此人，咱也用非常办法，我只是提醒，没有教你哦

作者: 强子 时间: 2012-4-24 11:40
谢谢大家的回复，问题已初步解决，现在判定应该是与铝箔纸有关，不用就OK.我现在用的是餐饮用的那种，各位同行吸取教训吧。

作者: fibercoating 时间: 2012-4-25 11:52
楼主你邮箱多少，我用不了qq，想跟你交流一下，最近我这边产品也有麻点

作者: 强子 时间: 2012-4-28 17:23

fibercoating 发表于 2012-4-25 11:52
楼主你邮箱多少，我用不了qq，想跟你交流一下，最近我这边产品也有麻点

2860598589@qq.com

作者: jasmine131415 时间: 2012-5-5 14:29
嘉兴晶控电子有限公司，位于浙江省嘉兴市（上海下游，杭州上游），我们是专业制造光学镀膜耗材-石英晶振片和生物传感器-石英晶体微天平厂家。

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作者: 飞鸿腾达 时间: 2012-5-6 00:29
那看你做的层数和厚度啊，多的话，没有离子源的话，你这种现象就正常，建议你除了清洁卫生外，把温度保持在280左右，TIO3的束流1.5左右，多容几次料，充氧在1.6-2就可以了，这样膜的紧密性好点，对光洁度很有帮助

作者: wdydede 时间: 2012-5-15 01:03
学习学习

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