光电工程师社区

标题: SQC310速率不稳 [打印本页]

作者: kingpeter 时间: 2012-4-18 19:21
标题: SQC310速率不稳
请高手指点：TIO2和sio2蒸发时，SQC310速度稳定一段时间后开始不稳定,是什么原因所致啊？

作者: nkclone 时间: 2012-4-19 08:19
确认晶振片是良品么？

作者: cxtwo 时间: 2012-4-19 08:49
如何确认晶振片是否良品？

作者: 良哥 时间: 2012-4-19 09:31
晶振片寿命下降的原因。应该是不，共同学习中……

作者: kingpeter 时间: 2012-4-19 22:11
晶振片是良品。有的是先不稳定一段时间之后又开始稳定成一条直线。发生的很随机。

作者: lzy30945 时间: 2012-4-20 01:25
有时功率不够的话也会不稳的

作者: otxtc 时间: 2012-4-20 08:29
不稳定的表现是什么样子的，是异常（突跳至很高，例如10倍以上、然后跳至负的大速率）、很大幅度的波动(例如相对设定速率50%以上的波动) 还是更小幅度波动？
你说的稳定时波动在 0.5A/S以内吗？

作者: kingpeter 时间: 2012-4-20 10:05
稳定时速率基本上在0.5A/S以内；不稳定时就是突跳很高，或下降很低，波动很大，成波浪形的

作者: JINFENG215107 时间: 2012-4-20 14:16
不会是哪里漏把

作者: z1206l 时间: 2012-4-21 17:03
镀膜温度是多少?

晶振片有冷却水吗？

作者: kingpeter 时间: 2012-4-21 17:42
真空度没问题，290；没有漏水现象啊

作者: otxtc 时间: 2012-4-21 21:49
晶振冷却水温度多少？

作者: kingpeter 时间: 2012-4-21 22:12
冷却水温度20度上下

作者: otxtc 时间: 2012-4-22 11:58
1. 出现速率异常跳动后，厚度有多大影响，那罩膜还能成功吗？
2. 20度是不是有点低.
你在网上搜索 "SiO2 TiO2 应力"，会找到浙大的一篇文章，介绍了温度对膜层应力的影响。

作者: kingpeter 时间: 2012-4-22 21:56
每炉的特性OK的，感觉在成膜中修改参数PID及POWER等似乎不起作用

作者: xiaozhou 时间: 2012-4-23 17:54
我们也遇到过，英福康工程师确认是连接线受潮了。你可以问问英福康的专业工程师

作者: kingpeter 时间: 2012-4-23 17:58
非常感谢！能否告知一下联系方式？谢谢

作者: shuangzixing 时间: 2012-4-23 20:11

JINFENG215107 发表于 2012-4-20 14:16
不会是哪里漏把

速率不稳和漏气没有关系的。和PID 和材料的平整也有关系的
还有就是我们上次把探头里的两个铜线拆下后发现也有松动的情况

作者: tfc 时间: 2012-4-24 08:48
特性OK不代表曲线重复性，如果重复性也OK，你就不要再查了，因为原因很复杂，还很深奥，你能查出来，可以去制造镀膜机了，肯定好用。如果已经影响重复性，一般与间歇性微漏有关，如果曲线变得很厉害，证明漏气了，你可以试试，拧松一个密封，使其半漏不漏，一般用夹根头发丝。。。
如果你可以列表连续十炉以上镀TIO2、SIO2从电子枪启动到出现不稳定时的准确时间，2个要分开列，我可以帮你分析

作者: jasmine131415 时间: 2012-4-26 15:03
导致速率不稳，可能有以下几个原因：

1.参数设置不稳定 PID
2.温度不稳定
3.探头保养不良。接触电阻不稳
4.源电子抢的问题
5.晶片表面污染
6.镀膜工艺（高应力—高速/低温)

对应检查过来，希望能帮到你...

作者: E501559 时间: 2012-4-27 08:31
检查一下晶振和电子枪试试；........共同进步！

作者: kingpeter 时间: 2012-4-28 09:29
非常感谢各位的指点和帮助！我再仔细确认下！

作者: jxxjlw 时间: 2012-5-1 14:30

是PID数据没调试好!你慢慢调试,即可,此情况排除了
硬件问题!希望可以帮助你!

作者: kingpeter 时间: 2012-5-2 09:31
谢谢各位啊！

作者: gxbm 时间: 2012-5-5 08:29
调整PID效果怎么样？

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