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标题: 南光机离子源与高压的关系 [打印本页]

作者: 良哥 时间: 2012-4-24 15:30
标题: 南光机离子源与高压的关系
各位膜友，最近小弟镀膜机发生小碍，每当开离子源时高压会产生摆动，电子枪不敢加束流，这是怎么一回事啊？麻烦各位大师解答了。使用的是南光机，霍尔离子源。

作者: 缘睐汝痴 时间: 2012-4-24 23:05

作者: tfc 时间: 2012-4-25 07:53
哪家的离子源？如果没特别的话，应该是用空间中心的吧？如果这样，要加强电磁屏蔽

作者: zhm1988 时间: 2012-4-25 08:25
这个电压应该会慢慢稳定吧，估计投的气体不够稳定

作者: 良哥 时间: 2012-4-25 19:29

tfc 发表于 2012-4-25 07:53
哪家的离子源？如果没特别的话，应该是用空间中心的吧？如果这样，要加强电磁屏蔽

嗯，是中科九章的，如何加强电磁屏蔽啊？加铁板？

作者: 良哥 时间: 2012-4-25 19:30

zhm1988 发表于 2012-4-25 08:25
这个电压应该会慢慢稳定吧，估计投的气体不够稳定

投的气体应该稳定，原先OK来着，现在不好用了。

作者: tfc 时间: 2012-4-26 07:52
1.用Ω表摇下电子枪对地电阻，过小要处理，用不锈铁或不锈钢把离子源及电子枪独立围起来，维护罩接地，避免它们之间打火。

作者: skyperfect 时间: 2012-5-18 15:01
我也是离子源新装后高压不稳定，束流加大后就高压就跳，用不锈钢板把两个电子枪都围了，离子源也围了，还是不行，接地电阻没办法测，检查了接地线，应该没有问题，真不知怎么找原因了。

作者: tfc 时间: 2012-5-19 08:03
你试一试离子源不启动，只充气，再调试电子枪，到蒸发电流，如果都正常，再开离子源电源，慢慢加能量

作者: 良哥 时间: 2012-5-19 13:21

tfc 发表于 2012-5-19 08:03
你试一试离子源不启动，只充气，再调试电子枪，到蒸发电流，如果都正常，再开离子源电源，慢慢加能量

谢谢

作者: wazxq 时间: 2012-5-19 14:04
检查绝缘,互相干扰国产机容易出

作者: HGcoating 时间: 2012-5-22 15:58
把离子源和电了枪清洗干净换所有绝缘陶瓷

作者: opfans696 时间: 2012-5-23 14:01
把离子源发黑的绝缘陶瓷全部换掉，装离子源时边装边测绝缘性能。只要你离子源的高压稳定了就不会对电子枪进行干扰了。

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